一、按發(fā)生的故障的過程分，故障緩慢發(fā)生為見漸發(fā)性故障，故障突然發(fā)生為突發(fā)性故障

   二、按發(fā)生故障次序分，分為原發(fā)性故障和繼發(fā)性故障

   原發(fā)性故障，往往現(xiàn)在某局部發(fā)生小故障，此故障暫時(shí)未被發(fā)現(xiàn)或?qū)φ婵毡眠\(yùn)轉(zhuǎn)未造成大影響。

   繼發(fā)性故障，當(dāng)繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，原發(fā)性故障損壞的部分造成真空泵的不平衡或碎片進(jìn)到鄰近運(yùn)轉(zhuǎn)部分而造成“健康”的部分損壞，這情形再往后發(fā)展直至真空泵整體或抓藥部分毀壞二停止運(yùn)轉(zhuǎn)，后面階段是繼發(fā)性故障。例如，一臺(tái)真空泵可能一開始葉片發(fā)生輕微的摩擦，然后葉片把缸體磨損的凹凸不平，仍運(yùn)轉(zhuǎn)，磨損的缸體破壞擴(kuò)大到卡主真空泵至停機(jī)。真空泵維修技術(shù)人員面對(duì)破壞的嚴(yán)重的缸體內(nèi)壁，要全力找出什么是原發(fā)性故障，才能正確采取預(yù)防性措施。一般原發(fā)性故障過程較長，而繼發(fā)性故障則在短期內(nèi)發(fā)生，作為真空泵故障診斷的*性就要在原發(fā)性故障剛發(fā)生時(shí)可診斷出來，及時(shí)采取維修措施，使損失較少。而當(dāng)繼發(fā)性故障發(fā)生后才診斷出來的馬后炮式是不可取的，不但造成損失大，而且故障后分析故障原因困難，不利于以后的改進(jìn)。