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GTAdvancedTechnologies日前推出其新型SiClone100碳化硅(SiC)生產(chǎn)爐。SiClone100采用升華生長技術(shù),能生產(chǎn)出高品質(zhì)的半導(dǎo)體SiC晶體塊,可zui終制成zui大直徑為100毫米的芯片。在其初步階段,SiClone100主要針對本身已經(jīng)擁有熱場、合格的晶體塊生產(chǎn)配方及正準(zhǔn)備開始量產(chǎn)的客戶。
GT的總裁兼執(zhí)行官TomGutierrez表示:“GT新推出的SiClone100爐將解決電力電子行業(yè)對更高品質(zhì)SiC材料的需求,這些材料將用于生產(chǎn)*的高功率及高頻設(shè)備。SiClone100為我們的SiC產(chǎn)品藍(lán)圖奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),根據(jù)藍(lán)圖我們預(yù)計(jì)在未來向客戶提供可生產(chǎn)八英寸SiC芯片的完整生產(chǎn)環(huán)境,包括配方、熱場及耗材。”
GT利用其在晶體生長技術(shù)領(lǐng)域深入的專業(yè)知識,為正在尋求“從實(shí)驗(yàn)室向工廠轉(zhuǎn)化”的客戶提供高度可靠及經(jīng)驗(yàn)證的平臺,幫助客戶開始量產(chǎn)SiC晶體塊。SiClone100爐裝備有的控制系統(tǒng),通過將爐電子與人機(jī)界面(HMI)相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)生長過程的自動化。SiClone100采用底部灌裝設(shè)計(jì),從而令熱場灌裝變得簡單??刂葡到y(tǒng)為用戶帶來更大的靈活性,用戶可根據(jù)需要制定過程配方及控制生產(chǎn)參數(shù),例如溫度、剖面、斜度及氣流,從而改善持續(xù)運(yùn)行的控制重復(fù)性,zui終降低制造成本。GT的現(xiàn)場工程師及支援團(tuán)隊(duì)將幫助客戶快速啟動量產(chǎn)。
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