工控摘要：雷尼紹是測量和光柵技術(shù)的者，其成功的TONiC™增量式光柵產(chǎn)品系列現(xiàn)已推出全新的1nm和2nm分辨率選項(xiàng)。
　　
　　直線光柵和圓光柵的全新高分辨率選項(xiàng)，包括標(biāo)準(zhǔn)TONiC讀數(shù)頭和新型Ti20KD（1nm）或Ti10KD（2nm）接口;接口采用高細(xì)分率，可達(dá)到更高的分辨率。此外，TONiC采用優(yōu)異的光度測量的低噪聲光學(xué)設(shè)計(jì)與Ti20KD/Ti10KD接口內(nèi)的濾波功能相結(jié)合，將抖動(dòng)（報(bào)告位置上的噪聲）降至0.51nmRMS的超低水平。
　　
　　位置穩(wěn)定性顯著增強(qiáng)
　　
　　由于抖動(dòng)降低、分辨率提升，TONiC™增量式光柵的位置穩(wěn)定性和低速速度控制均顯著增強(qiáng)。這是對所有TONiC讀數(shù)頭的標(biāo)配動(dòng)態(tài)信號調(diào)節(jié)功能優(yōu)勢的有力補(bǔ)充。
　　
　　因此，1nm和2nmTONiC增量式光柵具有20微米柵距光柵的所有優(yōu)點(diǎn)，例如設(shè)定簡單、堅(jiān)固性*和優(yōu)異的抗污能力等，而且分辨率和噪聲水平可與柵距更小的光柵媲美。
　　
　　提供各種直線光柵和圓光柵
　　
　　TONiC直線光柵提供廣泛的柵尺選項(xiàng)。RGSZ是廣泛使用的雷尼紹鍍金鋼帶柵尺中的新款，具有內(nèi)置IN-TRAC™光學(xué)參考零位。RSLM因鋼柵尺在長度達(dá)到1130mm時(shí)，熱膨脹系數(shù)為“零”，精度為±1µm。為了在長軸上實(shí)現(xiàn)高性能和顯著高于玻璃光柵尺的堅(jiān)固性，可采用RSLM不銹鋼柵尺，它在5m長度上總體精度達(dá)到±4µm。zui高可提供10m的長度規(guī)格。此外，為實(shí)現(xiàn)更快捷方便的安裝，新型FASTRACK™直線光柵尺系統(tǒng)配備輕薄小巧的RTLC鋼帶柵尺，精度達(dá)±5µm/m。
　　
　　同時(shí)也提供廣泛的圓光柵選項(xiàng)。RESR圓光柵具有直徑范圍從52mm到550mm的標(biāo)準(zhǔn)尺寸和更大尺寸。如需更高性能，可采用超高精度REXM圓光柵，它與雙讀數(shù)頭配合使用時(shí)，在大于100mm的圓環(huán)直徑上具有優(yōu)于1角秒的總體安裝精度。
　　
　　接口按其細(xì)分系數(shù)命名：Ti20KD是指20k數(shù)字細(xì)分電路（正交后），等于1nm分辨率。
　　
　　與所有雷尼紹光柵一樣，TONiC增量式光柵也由一個(gè)團(tuán)隊(duì)支持，提供真正快捷的化服務(wù)。此外，該產(chǎn)品符合zui高的環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)，即WEEE和RoHS的要求。