工控摘要：擴散硅壓力變送器抗過載和抗沖擊能力強，過壓可達量程的數(shù)倍，甚至用硬物直接敲打測量元件也不致使其損壞，且對測量精度毫無影響。穩(wěn)定性高，每年優(yōu)于0.1%滿量程，這個技術(shù)指標已達到智能型壓力儀表水平；溫度漂移小，由于取消了壓力測量元件中的中介液，因而傳感器不僅獲得了很高的測量精度，且受溫度梯度影響極小。
　　
　　關(guān)于擴散硅壓力變送器的具體技術(shù)特性，接下來一一為大家講解：
　　
　　1、精度高擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三位一體，無機械動件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以不重復(fù)性和遲滯誤差很小。因此綜合表態(tài)精度很高。
　　
　　2、可靠性高擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級，膜片zui大位移量在來微米數(shù)量級，且無機械磨損，無疲勞，無老化。平均*時間長，性能穩(wěn)定，可靠性高。
　　
　　3、靈敏度高擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50~80倍，它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。對接囗電路適配性好，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵電壓低，輸出信號大，且無機械動件損耗，因而分辯率*。
　　
　　4、頻響高由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計，使傳感器頻率響應(yīng)很高，使用帶寬可達零頻至100千赫茲。
　　
　　5、度性能好隨著集成工藝技術(shù)進步，擴散硅敏感膜的四個電阻一致性得到進一步提高，原始的手工補償已被激光調(diào)阻、計算機自動休整技術(shù)所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達10-5/℃數(shù)量級，工作溫度也大幅度提高。
　　
　　6、擴散硅壓力變送器的抗電擊穿性能好由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強磁場、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊壓力變送器。
　　
　　7、耐腐蝕性好由于擴散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，出能在普通使用中適應(yīng)各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔離時結(jié)構(gòu)工藝更易于實現(xiàn)。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質(zhì)安全防爆的特點，可替代諸多同類型的同功能產(chǎn)品，具有*良的性能價格比。