機器視覺是機器(通常指數(shù)字計算機)對圖像進行自動處理并報告“圖像中有什么”的過程，也就是說它識別圖像中的內(nèi)容。

機器視覺系統(tǒng)一般以計算機為中心，主要由視覺傳感器、高速圖像采集系統(tǒng)及圖像處理系統(tǒng)等模塊構(gòu)成。

晶圓級濾光片檢測的基本原理

晶圓級濾光片中的各種雜質(zhì)，在光學(xué)特性上必然與晶圓級濾光片本身有差異。當(dāng)光線入射晶圓級濾光片后，各種雜質(zhì)會在反射、折射等方面表現(xiàn)出與周圍晶圓級濾光片不同的異樣。例如，當(dāng)均勻光垂直入射晶圓級濾光片時，如晶圓級濾光片中沒有雜質(zhì)，出射的方向不會發(fā)生改變，所探測到的光也是均勻的；當(dāng)晶圓級濾光片中含有雜質(zhì)時，出射的光線就會發(fā)生變化，所探測到的圖像也要隨之改變。由于雜質(zhì)的存在，在其周圍就發(fā)生了應(yīng)力集中及變形，在圖像中也容易觀察。若遇到光透射型缺陷（如裂紋、氣泡等），光線在該缺陷位置會發(fā)生折射，光的強度比周圍的要大，因而相機靶面上探測到的光也相應(yīng)增強；若遇到光吸收型（如砂粒等）雜質(zhì)，則該缺陷位置的光會變?nèi)?，相機靶面上探測到的光比周圍的光要弱。分析相機采集到的圖像信號的強弱變化、圖像特征，便能獲取相應(yīng)的缺陷信息。

晶圓級濾光片檢測設(shè)備簡介

IR-Cut filter表面缺陷自動化檢測設(shè)備是基于晶圓級濾光片產(chǎn)品的生產(chǎn)現(xiàn)狀，對現(xiàn)有勞動力密集的人工品質(zhì)檢測工藝環(huán)節(jié)進行自動化改造，通過研究設(shè)計一款晶圓級濾光片表面品質(zhì)自動化檢測和分揀設(shè)備來替代人工檢測。本項目研發(fā)設(shè)計內(nèi)容主要由表面缺陷自動識別系統(tǒng)設(shè)計、物流傳送系統(tǒng)及聯(lián)動控制設(shè)計，正次品分揀機械手設(shè)計等三個部分組成。

通過該設(shè)備的成功實施預(yù)期能實現(xiàn)晶圓級濾光片表面品質(zhì)缺陷特征的自動識別、正次品自動分揀、檢測精度達到10微米、檢測速度到180片/分鐘的目標。

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