一 簡介
傾角傳感器用于測(cè)量單軸傾角的傳感器。它采用高精度MEMS芯片，儀器級(jí)精度，具有BIMOS信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性，并具有自檢測(cè)（Self-Test）功能，可實(shí)現(xiàn)BIT（Built-In-Test）檢測(cè).具有數(shù)字和模擬兩種輸出形式。該產(chǎn)品隨溫度和時(shí)間的變化仍有*的可靠性和穩(wěn)定性。此外，它還具有高分辨率、低噪聲、承受高過載的特點(diǎn)。
本產(chǎn)品可用于傾角測(cè)量儀器、位置測(cè)量、加速度和運(yùn)動(dòng)測(cè)量、汽車測(cè)控、慣性導(dǎo)航、地震監(jiān)控等測(cè)量系統(tǒng)中。
二 原理
單軸傾角傳感器是依據(jù)加速度傳感器傾斜后的角度與重力加速度成函數(shù)關(guān)系的原理來測(cè)量傾角的。加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊相連的*板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。
三 技術(shù)條件
1型號(hào) JK11/PM-TSI-30 JK11/PM-TSI-90
2供電
2.1 供電電壓（V.DC） 5±5％ 5±5％
2.2 輸入電流（mA） <6 <6
3性能
3.1測(cè)量范圍（°） ±30° ±90°
對(duì)應(yīng)加速度范圍（g） ±0.5 ±1
3.2零位（0g）偏置電壓（V） 2.5±0.2 +2.5±0.2
3.3偏置溫漂溫度系數(shù)（mg/℃） ±0.1 ±0.1
3.4 輸出靈敏度（V／ｇ） 4 2
3.5輸出電壓Uout（V） 0～5 0～5
3.6非線性度（%） ≤±0.5 ≤±1
3.7數(shù)字輸出位數(shù)（bits） 11 11
3.8帶寬（HZ，-3 dB） 0～28 0～28
3.9自檢測(cè)功能
ST輸出響應(yīng)注①（V） 5±0.3 5±0.3
3.10輸出噪聲密度（μg/√Hz） 15 15
3.11*穩(wěn)定性（mg） 0.25 0.25
四．工作環(huán)境
4.1使用溫度（℃） -40～+125 -40～+125
儲(chǔ)存溫度（℃） -55～+125 -55～+125
4.2耐加速度：
4.2.1任意軸,不供電（g） >20000 >20000
4.2.2任意軸,供電（g） >20000 >20000
五．重量體積
5.1重量（g） ﹤30
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