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MTI 數(shù)字式電容位移傳感器

D-100 D-200 D-300 D-400MTI 數(shù)字式電容位移傳感器

線性度高達(dá)滿(mǎn)量程的 0.01%

具有亞納米級(jí)別的分辨率

可以選擇標(biāo)準(zhǔn)的探頭和定制的探頭

MTI 數(shù)字式電容位移放大器

先進(jìn)的功能

1、具有行業(yè)中zui高的分辨率，線性度高達(dá) 0.01%

2、不需要模數(shù)轉(zhuǎn)化器

3、通過(guò)網(wǎng)線或者 USB 線纜自動(dòng)連接

4、所有的通道同時(shí)測(cè)量可高達(dá) 20kHz 的采樣速度

5、測(cè)量范圍可調(diào)，一個(gè)探頭，多個(gè)測(cè)量范圍，可以通過(guò)軟件，將數(shù)據(jù)保存為csv文件，可以通過(guò)軟件進(jìn)行靈活的濾波和平均控制。

具有數(shù)字化接口設(shè)計(jì)系列的放大器，它使用的技術(shù)將一個(gè)高度可靠的電容式電場(chǎng)測(cè)量（位移）直接轉(zhuǎn)化為一個(gè)高度精確的位移數(shù)字信號(hào)。

電容位移傳感器的應(yīng)用

顯微鏡聚焦 „鏡頭的對(duì)準(zhǔn) „測(cè)量零件的外形 „測(cè)量零件的傾斜 „測(cè)量半導(dǎo)體硅片的厚度 „測(cè)量壓電平臺(tái)的位移 „測(cè)量振動(dòng) „測(cè)量電腦硬盤(pán)運(yùn)行和厚度 „測(cè)量剎車(chē)盤(pán)的翹曲和厚度 „測(cè)量金屬板的厚度 „測(cè)量光伏晶圓

MTI 標(biāo)準(zhǔn)探頭的特點(diǎn)

● 電纜和探頭使用的的溫度范圍: -130ºC -- 200ºC (也有高溫探頭，在下一頁(yè)有介紹)

● 連接頭的使用溫度范圍: -65ºC -- 85ºC

● 精度: 高于滿(mǎn)量程的±0.02% （當(dāng)探頭和放大器經(jīng)過(guò)和被測(cè)物校準(zhǔn)后）

● 標(biāo)準(zhǔn)放大器濾波帶寬: 500Hz

● 可選濾波帶寬 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel

● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 濾波帶寬 Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程

● 探頭和電纜互換性: ± 0.5%（在沒(méi)有經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的情況下互換）

● 承受壓力范圍: 14MPa- (不適用于高溫探頭)

● 材料: 不銹鋼結(jié)構(gòu),內(nèi)部沒(méi)有電子元器件

● 帶線纜的探頭，同軸電纜長(zhǎng)度: 2.4m (可選延長(zhǎng)線纜.)

型號(hào) ASP-1-ILR	量程	2zui大擴(kuò)展量程	感度	感測(cè)直徑E	探頭直徑D	探頭長(zhǎng)度L	zui小范圍
型號(hào) ASP-1-ILR	µm 25.4	10	µm/V 2.54	mm 1.09	mm 2.36	mm 9.53	µm 1.270
ASP-2-ILR	50.8	10	5.08	1.55	2.84	9.53	2.540
ASP-5-ILR	127.0	10	12.70	2.49	3.96	9.53	6.350
ASP-10-ILR	254.0	10	25.40	3.53	5.54	9.53	12.700
ASP-20-ILR	508.0	4	50.80	5.00	7.92	9.53	25.400
ASP-50-ILR	1270.0	3	127.00	7.98	13.87	9.53	63.500
ASP-100-ILR	2540.0	2	254.00	11.25	25.40	9.53	127.000
ASP-200-ILR	5080.0	2	508.00	15.93	38.10	9.53	254.000

型號(hào) ASP-25M-CTR	量程	2zui大擴(kuò)展范圍	感度	感測(cè)直徑E	探頭直徑D	探頭長(zhǎng)度L	zui小范圍
型號(hào) ASP-25M-CTR	µm 25.4	10	µm/V 2.54	mm 1.09	mm 9.53	mm 25.40	µm 1.270
ASP-50M-CTR	50.8	10	5.08	1.55	9.53	25.40	2.540
ASP-125M-CTR	127.0	10	12.70	2.49	9.53	25.40	6.350
ASP-250M-CTR	254.0	10	25.40	3.53	9.53	25.40	12.700
ASP-500M-CTR	508.0	4	50.80	5.00	11.13	25.40	25.400
ASP-1250M-CTR	1270.0	3	127.00	7.98	15.88	25.40	63.500
ASP-2500M-CTR	2540.0	2	254.00	11.25	25.40	25.40	127.000

產(chǎn)品型號(hào) ASP-1-ILA	量程	2zui大擴(kuò)展范圍	感度	感測(cè)直徑E	探頭直徑D	探頭長(zhǎng)度L	zui小范圍
產(chǎn)品型號(hào) ASP-1-ILA	µm 25.4	10	µm/V 2.54	mm 1.09	mm 2.36	mm 9.53	µm 1.270
ASP-2-ILA	50.8	10	5.08	1.55	2.84	9.53	2.540<,/,SPAN>
ASP-5-ILA	127.0	10	12.70	2.49	3.96	9.53	6.350
ASP-10-ILA	254.0	10	25.40	3.53	5.54	9.53	12.700
ASP-20-ILA	508.0	4	50.80	5.00	7.92	9.53	25.400
ASP-50-ILA	1270.0	3	127.00	7.98	13.87	9.53	63.500
ASP-100-ILA	2540.0	2	254.00	11.25	25.40	9.53	127.000
ASP-200-ILA	5080.0	2	508.00	15.93	38.10	9.53	254.000

型號(hào) ASP-0.5-CTA	量程	2zui大擴(kuò)展范圍	感度	感測(cè)直徑E	探頭直徑D	探頭長(zhǎng)度L	zui小范圍
型號(hào) ASP-0.5-CTA	µm 12.7	20	µm/V 1.27	mm 0.74	mm 6.35	mm 63.50	µm 0.635
ASP-25M-CTA	25.4	10	2.54	1.09	6.35	63.50	1.270
ASP-50M-CTA	50.8	10	5.08	1.55	6.35	63.50	2.540
ASP-125M-CTA	127.0	10	12.70	2.49	6.35	63.50	6.350
ASP-250M-CTA	254.0	10	25.40	3.53	6.35	63.50	12.700
ASP-500M-CTA	508.0	5	50.80	5.00	11.10	63.50	25.400
ASP-1250M-CTA	1270.0	3	127.00	7.98	15.88	63.50	63.500
ASP-2500M-CTA	2540.0	2	254.00	11.25	25.40	63.50	127.000
ASP-5000M-CTA	5080.0	2	508.00	15.93	38.10	101.60	254.000
ASP-500-CTA	12700.0	1	1270.00	25.22	82.55	101.60	635.000

型號(hào) ASP-1-PCA	量程	2zui大擴(kuò)展范圍	感度	感測(cè)直徑E	探頭直徑D	探頭長(zhǎng)度L	zui小范圍
型號(hào) ASP-1-PCA	µm 25.4	10	µm/V 2.54	mm 1.09	mm 2.36	mm 2.54	µm 1.270
ASP-2-PCA	50.8	10	5.08	1.55	2.84	2.54	2.540
ASP-5-PCA	127.0	10	12.70	2.49	3.96	2.54	6.350
ASP-10-PCA	254.0	10	25.40	3.53	5.54	2.54	12.700
ASP-20-PCA	508.0	4	50.80	4.98	7.92	2.54	25.400
ASP-50-PCA	1270.0	3	127.00	7.98	13.87	2.54	63.500
ASP-100-PCA	2540.0	2	254.00	11.25	25.40	2.54	127.000

型號(hào) ASP-1-PCR	量程	2zui大擴(kuò)展范圍	感度	感測(cè)直徑E	探頭直徑D	探頭直徑L	zui小范圍
型號(hào) ASP-1-PCR	µm 25.4	10	µm/V 2.54	mm 1.09	mm 2.36	mm 2.54	µm 1.270
ASP-2-PCR	50.8	10	5.08	1.55	2.84	2.54	2.540
ASP-5-PCR	127.0	10	12.70	2.49	3.96	2.54	6.350
ASP-10-PCR	254.0	10	25.40	3.53	5.54	2.54	12.700
ASP-20-PCR	508.0	4	50.80	4.98	7.92	2.54	25.400
ASP-50-PCR	1270.0	3	127.00	7.98	13.87	2.54	63.500
ASP-100-PCR	2540.0	2	254.00	11.25	25.40	2.54	127.000
ASP-200-PCR	5080.0	2	508.00	15.93	38.10	5.08	254.000