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MTI 數(shù)字式電容探頭
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MTI 數(shù)字式電容探頭 (標準規(guī)格的電容探頭以達到納米級別的分辨率并且有非常好的穩(wěn)定性) 電容位移傳感器的應用 顯微鏡聚焦 „鏡頭的對準 „測量零件的外形 „測量零件的傾斜 „測量半導體硅片的厚度 „測量壓電平臺的位移 „測量振動 „測量電腦硬盤運行和厚度 „測量剎車盤的翹曲和厚度 „測量金屬板的厚度 „測量光伏晶圓 的特點 ● 電纜和探頭使用的的溫度范圍: -130ºC -- 200ºC (也有高溫探頭,在下一頁有介紹) ● 連接頭的使用溫度范圍: -65ºC -- 85ºC ● 精度: 高于滿量程的±0.02% (當探頭和放大器經過和被測物校準后) ● 標準放大器濾波帶寬: 500Hz ● 可選濾波帶寬 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel ● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 濾波帶寬 Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程 ● 探頭和電纜互換性: ± 0.5%(在沒有經過校準的情況下互換) ● 承受壓力范圍: 14MPa- (不適用于高溫探頭) ● 材料: 不銹鋼結構,內部沒有電子元器件 ● 帶線纜的探頭,同軸電纜長度: 2.4m (可選延長線纜.)
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