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SHY11-BD86A型半導(dǎo)體電阻率測試儀是我廠推出的的普及型半導(dǎo)體電阻率測試儀器，本儀器是根據(jù)四探針原理，適合半導(dǎo)體器材廠，材料廠用于測量半導(dǎo)體材料（片狀、棒狀）的體電阻率，方塊電阻（簿層電阻），也可以用作測量金屬薄層電阻，經(jīng)過對用戶、半導(dǎo)體廠測試的調(diào)查，根據(jù)美國ASTM標準的規(guī)定，在電路和探頭方面作了重大的修改和上的許多突破，它更適合于半導(dǎo)體器材廠工藝檢測方面對中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要，成為普及型的電阻率測試儀，具有測量精度高，穩(wěn)定性好，輸入阻抗高，使用方便、價格低廉等特點。

儀器主要指標：

1． 測量范圍：電阻率10-3—103Ω-cm，分辯率為 10-4Ω-cm ，可擴展到105Ω-cm

方塊電阻10-2—104Ω/□，分辯率為10-3Ω/□，可擴展到106Ω/□

薄層金屬電阻10-4—105Ω，分辯率為10-4Ω

2.可測半導(dǎo)體材料尺寸：直徑Φ15—Φ125mm； 長度：150mm（可擴展500mm）

3.測量方式：軸向、斷面均可

4．數(shù)字電壓表：（1）量程：20mV（分辯率：10μV）、200mV、2V

（2）測量誤差：±0.3%讀數(shù)±1字

（3）輸入阻抗：大于108Ω

（4）顯示3 1/2 位紅色發(fā)光二極管（LED）數(shù)字顯示

0---1999具有極性、過載、小數(shù)點、單位自動顯示

5．恒流源：由交流供電，具有良好的防泄漏隔離功能

（1） 直流電流：0—100mA連續(xù)可調(diào)

（2） 量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

（3） 分辯率：10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

（4） 電流誤差：±0.3%讀數(shù)±2字

6．電性能模擬考核誤差：<±0.3%符合ASTM指標

7．測試探頭：（1）探針機械游移率：± 0.3% 符合ASTM 指標

8．電源：交流220V±10% 50HZ或60HZ 功率消耗< 30W

9．電氣箱外形尺寸：119×440×320mm


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電阻率測試儀（單晶硅）/到0.0001（包含探頭）SHY11-BD86A