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北京海富達(dá)科技有限公司
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D07-23F質(zhì)量流量控制器
| 參考價 | ￥9800 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- D07-23F 型號
- 其他品牌 品牌
- 生產(chǎn)商 廠商性質(zhì)
- 北京市 所在地
規(guī)格
| D07-23F | 9800元 | 100 件 可售 |
| D07-23FM | 9800元 | 100 件 可售 |
訪問次數(shù)：489更新時間：2025-01-14 16:35:57
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產(chǎn)品介紹
D07-23FM 流量計與 D07-23F 型控制器相比，在結(jié)構(gòu)上的不同點就是少了電磁調(diào)節(jié)閥，其它部分基本相同！
質(zhì)量流量計 (Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行測量；質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
D07 系列具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下工作), 采用標(biāo)準(zhǔn)接頭, 其操作使用方便, 可任意位置安裝, 并便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制。
D07-23F 型質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計均為 24V 單電源供電，一般與我公司 D08-1K型流量顯示儀配套使用
主要技術(shù)指標(biāo)
D07-23F 型 性能指標(biāo)
1 流量規(guī)格 0~20,30,50,100,150,200,250 SLM
2 流量控制范圍 2~100% of F.S.
3 準(zhǔn)確度 ±1.5% F.S.
4 線性 ±1% F.S.
5 重復(fù)精度 ±0.2% F.S.
6 響應(yīng)時間 ≤ 3sec
7 工作壓差范圍
20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid)
50~150 SLM: (0.10~0.30) MPa (14.5~43.5 psid)
200,250 SLM: (0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)
8 大工作壓力 1 MPa (145psig)
9 耐壓 3 MPa (435.1 psig)
10 溫度系數(shù) Zero: ≤ ± 0.1% F.S. /℃; Span: ≤ ± 0.2% F.S. /℃;
11 工作環(huán)境溫度 5℃ ~ 45℃
12 輸入信號 4~20 mA 或 1~5 VDC
13 輸出信號 4~20 mA 或 1~5 VDC
14 電源 24VDC 400 mA
15 外形尺寸
16 重量 2.6 kg
D07-23FM 型 性能指標(biāo)
1 流量規(guī)格 0~20,30,50,100,150,200,250 SLM
2 流量控制范圍 2~100% of F.S.
3 準(zhǔn)確度 ±1.5 % F.S.
4 線性 ±1 % F.S.
5 重復(fù)精度 ±0.2 % F.S.
6 響應(yīng)時間 ≤3 sec
7 工作壓差范圍
20~100SLM:<0.02 MPa (2.9 psid)
>100SLM:<0.05 MPa (7.3 psid)
8 大工作壓力 1 MPa (145psig)
9 耐壓 3 MPa (435.1 psig)
10 溫度系數(shù) Zero: ≤ ± 0.1% F.S. /℃; Span: ≤ ± 0.2% F.S. /℃;
11 工作環(huán)境溫度 5 ℃ ~ 45 ℃
12 輸入信號 4~20 mA 或 1~5 VDC
13 輸出信號 4~20 mA 或 1~5 VDC
14 電源 24 VDC 100 mA
15 外形尺寸
16 重量 1.5 kg
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