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參考價: | ¥ 54000 |
訂貨量: | 1臺 |
- HE3-SD-981M 產(chǎn)品型號
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- 北京市 所在地
訪問次數(shù):508更新時間:2024-12-16 10:01:20
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- 王經(jīng)理
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磁控濺射儀 儀表
磁控濺射儀 儀表
參數(shù):
?主機規(guī)格:長510mm×寬310mm×高290mm(含腔體)
?靶材:Au(標配)50mm×0.1mm(D×H)
?樣品室:玻璃腔體直徑180mm×高120mm(D×H)
?樣品臺直徑:φ70mm
?靶材尺寸:Ф50mm
?高真空度:1Pa
?工作真空:2-15Pa
?定時器:數(shù)碼計時 0-600S
?鍍膜面積:50mm
?濺射電流:0-50Ma
?真空測量:皮拉尼真空計
?觸摸屏:7寸
?程序:VPI人機界面
?可通入氣體:多種
?高電壓:500 DCV
?機械泵:VRD-8
?速率:0--60nm/min
?主機功率:100W
?工作電壓:220V,50HZ
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