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Im Impedans 全自動朗繆爾體探針系統（以下簡稱ALP系統）可以對以下主要等離子體參數等進行實時在線監(jiān)測：等離子體密度；電子溫度；離子電流密度；等離子體電位；懸浮電位；電子能量分布函數（EEDF）。ALP系統可提供對直流、脈沖直流、微波和射頻等離子體的診斷測試。探針軸的標準長度為300mm，也可根據需求延長至1.4m。凹形探頭，支架能夠有效防止在探針采集區(qū)域由于濺射導電層引起的增量。探頭可自動清潔；時間分辨測量；空間分布測量；直流補償；射頻補償；高級廂車。