入口法蘭

DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K

抽速 ISO63/63CF （DN40NW）（ISO100）

  N₂

61 ls^-1 （42 ls^-1） （66 ls^-1）

  He

57 ls^-1  （49 ls^-1） （59 ls^-1）

  H₂

53 ls^-1  （48 ls^-1） （54 ls^-1）

壓縮比

  N₂

>1 × 10¹¹

  He

1 x 10⁶

  H₂

5 x 10⁴

極限壓力 （mbar）

帶有 RV 前級(jí)泵 ISO/CF

<5 x 10^-9 / 5 x 10^-10

帶有隔膜前級(jí)泵 ISO/CF

<5 x 10^-8 / 5 x 10^-9

出口法蘭

DN16NW

*前級(jí)泵*

RV5/nXDS5i

排氣口

1/8 英寸 BSP

吹掃口

1/8 英寸 BSP

zui大連續(xù)進(jìn)氣口壓力（輕氣體泵送）^†

水冷卻（15 °C 水，40 °C 環(huán)境溫度）

2 × 10^-2 mbar

強(qiáng)制空氣冷卻，35°C 環(huán)境溫度

1 × 10^-2 mbar

泵旋轉(zhuǎn)速度

標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度

90000 rpm

待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度

在 49500 至 90000 rpm 之間變化
（63000 rpm 默認(rèn)）

可編程功率限制設(shè)置

可在 50 至 120 W 之間變化（默認(rèn)為 80 W）

到 90% 速度的啟動(dòng)時(shí)間

110 s ‡

模擬輸出

轉(zhuǎn)速；
功耗；泵溫度；控制器溫度

冷卻方法^#

強(qiáng)制空氣/水

強(qiáng)制空氣冷卻的環(huán)境空氣溫度

5 - 35 °C

zui小冷卻水流速（15 °C 的水）

15 l h^-1

水溫范圍

10 - 20 °C

zui高入口法蘭溫度

100 °C

操作姿態(tài)

垂直且豎直，直到
水平

1 米處的噪音級(jí)別

<50 dB（A）

泵可以承受的zui大磁場(chǎng)

5 mT

*控制器

TIC100 分子泵和儀器控制器

靜止電功率

10 W