全自動(dòng)磁控離子濺射儀 型號(hào):M31/GVC-2000庫(kù)號(hào)：M374697   參數(shù)輸入電壓 AC220V±10%，50Hz工作電壓 DC600V大功率（主機(jī)與機(jī)械泵） 450W可選靶材 金、鉑、銀、銅、鈦、鉛等常用金屬真空泵 兩級(jí)直聯(lián)旋片式真空泵 1L/s真空腔 約φ125×125mm樣品杯 φ64×1整機(jī)尺寸（長(zhǎng)×寬×高） 424×271×255（mm）重量（主機(jī)） 11 kg工作環(huán)境 溫度 5～40℃，濕度<60%存儲(chǔ)環(huán)境 溫度-10~60℃，濕度<80%工作氣體 Air / Ar保護(hù)功能 過(guò)流、真空雙保護(hù)

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全自動(dòng)磁控離子濺射儀 型號(hào):M31/GVC-2000庫(kù)號(hào)：M374697   參數(shù)輸入電壓 AC220V±10%，50Hz工作電壓 DC600V大功率（主機(jī)與機(jī)械泵） 450W可選靶材 金、鉑、銀、銅、鈦、鉛等常用金屬真空泵 兩級(jí)直聯(lián)旋片式真空泵 1L/s真空腔 約φ125×125mm樣品杯 φ64×1整機(jī)尺寸（長(zhǎng)×寬×高） 424×271×255（mm）重量（主機(jī)） 11 kg工作環(huán)境 溫度 5～40℃，濕度<60%存儲(chǔ)環(huán)境 溫度-10~60℃，濕度<80%工作氣體 Air / Ar保護(hù)功能 過(guò)流、真空雙保護(hù)