濺射蒸碳儀 型號(hào):S9AT/SD-900C庫號(hào)：M402923  技術(shù)規(guī)格 參數(shù)主機(jī) 300mm×360mm×380mm（W×D×H）副機(jī) 300mm×360mm×140mm（W×D×H）真空規(guī) 皮拉尼真空計(jì)濺射靶 二極直流濺射靶 （標(biāo)配）磁控靶（選配）靶材尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H）靶材 Au(純度99.99%）蒸發(fā)材料 碳纖維繩樣品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸鹽玻璃濺射面積 Φ50mm蒸碳面積 140mm高真空度 ≤4×10-2mbar濺射大電流 50mA （磁控靶100mA）熱蒸發(fā)大電流 100A濺射定時(shí)器時(shí)間 0-360s熱蒸發(fā)時(shí)間 0-1s微型真空氣閥 可連接φ3mm軟管可通入氣體 多種濺射高電壓 -1600DCV熱蒸發(fā)高電壓 28V電源 220V AC,50Hz接地三腳插頭機(jī)械泵 2L/S重量 40Kg