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      行業(yè)產(chǎn)品

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      MFC202系列,氣體質(zhì)量流量控制器

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      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地上海

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      更新時間:2024-05-01 11:14:22瀏覽次數(shù):97次

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      產(chǎn)品簡介

      MFC202系列,氣體質(zhì)量流量控制器,流量20000sccm,壓力500PSI

      詳細介紹

      MFC 系列熱式質(zhì)量流量控制器為多功能產(chǎn)品,該產(chǎn)品的設(shè)計易于使用,方便進行流量檢測與控制。本類產(chǎn)品標準工作壓力為500psig,標準標定時采用空氣、氦氣、氫氣、二氧化碳,其他氣體標定可按要求進行。
      所有流量計和控制器均由316L不銹鋼棒料制造,可用流量范圍從0-10sccm到0-20lpm,其精度可高達±1%滿刻度。并且每臺儀器都可提供可追溯的NIST標定證書。電路設(shè)計可以抗高射頻干擾,且響應速度很快,從而確保性能可靠和精度。

      特點


      • 全量程±1%精度
      • 經(jīng)過驗證的可靠性
      • 量程–20,000 sccm
      • NIST 可追溯校準

      應用


      • 泄漏測試
      • 醫(yī)療研究
      • 氣象淀積
      • 研發(fā)和工藝流程
      • 半導體制程
      • 污染檢測
      • 氣體混合
      • 色譜分析

      技術(shù)指標

      MFC202
      精確度和線性度 ±1% 量程
      重復精度 ±0.05% 量程
      標準額定壓力 500 psig
      壓力系數(shù) 典型-0.0067%/psi (0-1000 psig N2 )
      控制閥壓降* 15-65 psig
      整體泄漏率 <1x10-9 sccs
      溫度系數(shù) 3 ±0.035% 量程/°C (0-60°C)
        量程 ±0.05%讀數(shù)/°C (0-60°C)
      標準溫度和壓力 0°C760
      電源 ±15 VDC @ ±60 mA/-185 mA
      流量信號 (本征線性) 0-5VDC
      控制信號 0-500 VDC or 4-20 mA
      接觸介質(zhì)的材料 316不銹鋼, 302不銹鋼, , Viton®, 82/18
      Au/Ni
      釬焊, 微量銀焊接, Kalrez®
      連接器 15針微型 D
      接頭 1/4" 1/8" 卡套
      重量  
      1.8 lb (0.82 kg)

      選型表

      MFC-202訂貨號 流量范圍 1/4"卡套 1/8"卡套
      MFC-202-2-10  0-10 SCCM       ⊙
      MFC-202-2-100  0-100 SCCM       ⊙
      MFC-202-2-500  0-500 SCCM       ⊙
      MFC-202-2-1000  0-1000 SCCM       ⊙
      MFC-202-4-3L  0-3 SLM     ⊙  
      MFC-202-4-5L  0-5 SLM     ⊙  
      MFC-202-4-10L  0-10 SLM     ⊙  
      MFC-202-4-20L  0-20 SLM     ⊙  



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