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      中頻小型真空等離子清洗機

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      具體成交價以合同協(xié)議為準

      產品型號

      品       牌

      廠商性質其他

      所  在  地鄭州市

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      更新時間:2024-05-03 12:41:58瀏覽次數:47次

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      產品簡介

      中頻小型真空等離子清洗機,不同氣體的等離子體具有不同的化學性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應生成氣體,從而達到清洗的效果。

      詳細介紹

      中頻小型真空等離子清洗機,

      等離子體清洗的機理,主要是依靠等離子體中活性粒子的"活化作用"達到去除物體表面污漬的目的。等離子體清洗通常包括以下過程:無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質被吸附在固體表面;被吸附基團與固體表面分子反應生成產物分子;產物分子解析形成氣相;反應殘余物脫離表面。等離子體清洗技術的特點是不分處理對象的基材類型,均可進行處理,對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料,可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。



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      中頻小型真空等離子清洗機

      供電電源

      AC220V(AC110V可選)

      工作電流

      整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

      射頻電源功率

      150W

      射頻頻率

      13.56MHz

      頻率偏移量

      <0.2MHz

      特性阻抗

      50歐姆,手動匹配

      耦合方式

      電容耦合

      真空度

      ≤50Pa

      腔體材質

      高純石英

      腔體容積

      2L(內徑110MMX深度220MM)

      觀察窗內徑

      Φ50

      氣體流量

      0—50ml/min(其他量程可選)

      過程控制

      過程手動控制

      清洗時間

      手動開關

      開蓋方式

      鉸鏈側開式法蘭

      外形尺寸

      450x450x360mm

      重量

      23Kg

      真空室溫度

      小于65°C

      冷卻方式

      強制風冷

      標配

      KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網匣1個,電源線一根,說明書一本。









      關鍵詞:等離子清洗機
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