石英腔體小型濺射儀

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更新時(shí)間：2024-05-03 08:21:30瀏覽次數(shù)：64次

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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：549條

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產(chǎn)品簡介

KT-Z1650CVD石英腔體小型濺射儀是一款小型臺(tái)式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率，可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

詳細(xì)介紹

鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開發(fā)、制造、經(jīng)營為一體的材料設(shè)備創(chuàng)新型企業(yè)，如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國內(nèi)大多數(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及校，科探儀器已經(jīng)成為老師同學(xué)歡迎和信任的品牌之一。公司以科技創(chuàng)新為主，服務(wù)社會(huì)為宗旨，積極設(shè)計(jì)開發(fā)新型材料制備設(shè)備，奉獻(xiàn)于教育和科學(xué)，經(jīng)過長期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累，擁有熱工，制造，控制相關(guān)技術(shù)10余項(xiàng)，為化學(xué)，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過和院校老師同學(xué)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，形成了有效的信息，技術(shù)交流平臺(tái)，為科探儀器了解市場(chǎng)需求提供了強(qiáng)有力的支持！

目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐 CVD供氣系統(tǒng) 等離子清洗機(jī) 石英腔體小型濺射儀 石英腔體小型蒸鍍儀 石英管真空封口半導(dǎo)體檢測(cè)等。主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

石英腔體小型蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)介紹：

針對(duì)市場(chǎng)上其它型號(hào)石英腔體小型蒸發(fā)鍍膜儀我們做如下改進(jìn)

1 腔體擴(kuò)充口可增加擴(kuò)展口大可擴(kuò)展KF40接口方便連接分子泵或晶控傳感器

2 樣品可旋轉(zhuǎn) 大轉(zhuǎn)速20轉(zhuǎn)每分鐘使鍍膜樣品更均勻

3 輕旋轉(zhuǎn)機(jī)械手柄樣品高度可精細(xì)調(diào)節(jié) 樣品距離靶材距離可精確到1mm

4 電動(dòng)擋板使用人機(jī)界面程序控制打開或者關(guān)閉時(shí)間

5 可通過人機(jī)界面手動(dòng)或者使用編程自動(dòng)控制預(yù)蒸發(fā) 恒定功率輸出變換功率輸出定時(shí)打開擋板（時(shí)間單位秒）關(guān)閉擋板樣品轉(zhuǎn)速工藝可存儲(chǔ) 工藝名稱可改利如鍍銀200納米厚

6 此產(chǎn)品已申請(qǐng)多項(xiàng)技術(shù) 抄襲請(qǐng)慎重！??！

控溫方式	數(shù)字式功率調(diào)整器
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
大功率	≤800W
大輸出電壓電流	電壓≤10V 電流≤80A
真空度	機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
擋板類型	電控
樣品室	石英腔體φ160mm x 160mm
樣品臺(tái)	可旋轉(zhuǎn)φ62 （大可安裝φ50基底）
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品熱源調(diào)節(jié)距離	70-140mm
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)	≤1600℃
蒸發(fā)坩堝容積	3ML
真空法蘭	KF25抽氣口 KF25擴(kuò)展口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
可選配擴(kuò)展	1 膜厚在線測(cè)試 2 分子泵

關(guān)鍵詞：等離子清洗機(jī) 機(jī)械手人機(jī)界面

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