日本Denka LaB6陰極燈絲，Denka六硼化鑭燈絲，Denka LaB6燈絲，Denka電鏡燈絲，Denka電鏡鎢燈絲, Denka  174C場(chǎng)發(fā)射燈絲，Denka AMAT02場(chǎng)發(fā)射燈絲

DENKA TFE 是一種 ZrO/W 發(fā)射器，通過(guò)用吸收的鋯和氧層覆蓋其單晶鎢針的表面，鎢的功函數(shù)降低。由于其亮度比單晶LaB6陰100倍，并且發(fā)射電子的能量寬度很小，即使在低光束電壓下，探頭也可以聚焦得更小。因此，DENKA TFE半導(dǎo)體材料和器件的表面觀察。此外，由于其極其穩(wěn)定的發(fā)射電流和較長(zhǎng)的使用壽命，DENKA TFE用于各種電子束應(yīng)用設(shè)備，如半導(dǎo)體檢測(cè)儀和電子束光刻設(shè)備

產(chǎn)品特點(diǎn)：由于其先進(jìn)的針加工技術(shù)，它可以響應(yīng)很寬的半徑范圍。超高質(zhì)量的一致性保證了發(fā)射特性的高再現(xiàn)性。噴槍的內(nèi)置服務(wù)，也可以與芯片、抑制器和抽排電極集成，以模塊形式提供。

使用范圍：高分辨率掃描電子顯微鏡（SEM）、分析透射電鏡（AEM）、半導(dǎo)體檢測(cè)儀（CD-SEM、DR-SEM、EBI）和電子束石版印刷設(shè)備