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      行業(yè)產(chǎn)品

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      芯米(廈門)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司


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      全自動顯影機(jī)

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      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

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      更新時間:2023-06-17 16:24:08瀏覽次數(shù):588次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:2條

      所在地區(qū):

      產(chǎn)品簡介

      2C全自動顯影機(jī) XMCA-800A

      詳細(xì)介紹

    1. 基片尺寸
      ψ50mm~ψ200mm
    2. Cassette 晶舟
      2-4個晶舟
    3. Coater Unit 涂膠單元
      1、PR類型:正膠/ 負(fù)膠 ;2、光刻膠噴頭 2 ~ 4 個; 3、EBR ( Edge Bead Remover ); 4、馬達(dá)旋轉(zhuǎn)速度 Max. 6,000rpm; 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
    4. Robot Arm 機(jī)械手臂
      3軸; X1, X2, X3
    5. Hot Plate熱盤單元
      溫度50℃-180℃
    6. Cooling Plate冷盤單元
      溫度18-28℃
    7. 顯影機(jī)基片尺寸
      ψ50mm~ψ300mm
    8. Developer 顯影單元
      1、可應(yīng)用噴頭 Spray, Stream, E2 , H ;2、馬達(dá)旋轉(zhuǎn)速度 Max. 5,000rpm
    9. 顯影機(jī)臺尺寸
      D(1200+1820)XW1700XH2300(mm)
    10. 關(guān)鍵詞:機(jī)械手 顯影機(jī)
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