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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司


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      半自動勻膠顯影機(jī)2

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      參  考  價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

      聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

      更新時間:2023-12-03 08:23:48瀏覽次數(shù):234次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:10條

      所在地區(qū):浙江寧波市

      產(chǎn)品簡介

      手動上、下片

      詳細(xì)介紹

      手動上、下片,自動對位和自動滴膠、顯影,晶圓背部清洗(BSR),邊緣清洗(EBR) CUP腔體自動清洗,CUP方便拆卸,限度減少光刻膠及顯影液堆積 膠嘴具有保濕功能,防止由于勻膠機(jī)間歇生產(chǎn)而造成光刻膠干化 晶片尺寸
      2-12英寸,圓形及方形基片,光刻膠旋涂及顯影工藝

      主要技術(shù)參數(shù)
      1、晶片尺寸: 2-12寸
      2、上下料方式: 手動取送片
      3、離心機(jī)轉(zhuǎn)速
      額定轉(zhuǎn)速: 6000 rpm
      最小調(diào)整量: 1rpm
      轉(zhuǎn)速精度: ±2rpm(50 rpm~6000 rpm)
      4、吸盤(Chuck)
      晶片固定方式: 真空吸附
      吸盤真空檢測: 數(shù)顯真空壓力傳感器
      材質(zhì): PPS、陶瓷(可根據(jù)客戶提供材質(zhì)制作)
      5、收集杯材質(zhì)(CUP): PP,氣液分離排放
      6、供液方式: 自動供膠、自動顯影
      7、光刻膠黏度: MAX. 10000CP
      8、光刻膠種類: MAX. 3種
      9、光刻膠保濕功能: 丙酮藥液保濕盒
      10、光刻膠清洗功能: 晶圓背部清洗;晶圓邊緣清洗
      11、顯影液種類: MAX. 2種

      12、光刻膠/顯影液過濾: 有,0.1um/0.2um可選


      應(yīng)用行業(yè)
      廣泛服務(wù)于MEMS、OLED、光通信、SAW、*封裝、科研等領(lǐng)域

      關(guān)鍵詞:真空壓力傳感器
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