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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      全自動8/12寸勻膠顯影機(jī)
      
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      參  考  價面議  
      
					                    
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2023-06-11 15:13:03瀏覽次數(shù)：1192次
							
      
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      經(jīng)營模式：其他
      
						
      商鋪產(chǎn)品：10條
      
						
      所在地區(qū)：浙江寧波市
      
																		
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      整體疊層布局，結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省機(jī)臺占地空間；勻膠、顯影每層2個單元，烘烤熱處理單元采用4列布置方式，與工藝單元相對稱，每列放置單元數(shù)可達(dá)5個，且各單元有獨(dú)立排風(fēng)系統(tǒng)，保證工藝精度及穩(wěn)定性
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			            整體疊層布局，結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省機(jī)臺占地空間；勻膠、顯影每層2個單元，烘烤熱處理單元采用4列布置方式，與工藝單元相對稱，每列放置單元數(shù)可達(dá)5個，且各單元有獨(dú)立排風(fēng)系統(tǒng)，保證工藝精度及穩(wěn)定性。設(shè)備布局分上中下三層，有效做到氣、液、電分別布置，提高機(jī)臺安全性、穩(wěn)定性。Spin電機(jī)及法蘭有溫控結(jié)構(gòu)，避免熱量傳至Wafer表面；勻膠單元有高精度計量泵及光阻回吸閥，節(jié)約光刻膠用量；立排風(fēng)、送風(fēng)系統(tǒng)，并有風(fēng)速、排風(fēng)數(shù)字監(jiān)控功能；主軸電機(jī)的轉(zhuǎn)速、加速度可精確控；Cup風(fēng)流經(jīng)過流體仿真優(yōu)化驗證                                                                                                                          晶片尺寸
      8-12英寸，圓形及方形基片，光刻膠旋涂及顯影工藝

      主要技術(shù)參數(shù)
      1、晶片尺寸： 8-12英寸 
      2、上下料方式： 高效機(jī)械手自動傳送
      3、離心機(jī)轉(zhuǎn)速
      額定轉(zhuǎn)速： 3000 rpm
      轉(zhuǎn)速：                6000
      加速度：              30000rpm/s 
      最小調(diào)整量：   1rpm 
      轉(zhuǎn)速精度：   ±1rpm（50 rpm～6000 rpm） 
      4、吸盤(Chuck) 
      夾持方式： 真空吸附
      吸盤真空檢測：  數(shù)顯真空壓力傳感器
      5、 排風(fēng)定期清洗：          duct clean功能
      6、PR nozzle：               直徑1.2mm  每路膠嘴可單獨(dú)保濕清洗
      7、顯影噴嘴：               LD nozzle  H nozzle  GP nozzle可選
      8、熱處理單元：            熱板HHP/LHP/AD單元（max.350℃） 6個，冷板CP單元2個，根據(jù)工藝制程不同可靈活選配
      9、光刻膠供應(yīng)：            采用高精度氣動/電動計量泵
      10、顯影液供應(yīng)：           采用N2加壓
      11、化學(xué)液恒溫 ：          水浴恒溫   23±0.1℃
      12、滴膠精度：             ±0.1ml ；滴膠范圍：0.6-3ml
      13、WEE 邊緣曝光：        可選配
      14、恒溫恒濕控制：         精密溫濕度控制器   （THC）

      應(yīng)用行業(yè)
      廣泛服務(wù)于MEMS、OLED、光通信、Saw、*封裝、科研等領(lǐng)域。
                                                  
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
      
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