AWM3000系列氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)規(guī)格：10.0±0.01VDC
| AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | ||
流量范圍（span） | +200sccm | +30sccm |
| +1000sccm | ||
壓力范圍（psi） |
|
|
|
| ||
（參照附錄） |
|
| ±2.0”水柱 |
| ||
輸出電壓 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
@ 標(biāo)定點(diǎn) | 200sccm | 25sccm | 2”水柱 | 1000sccm | ||
零點(diǎn)電壓 | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
零點(diǎn)漂移 |
|
|
|
| ||
+25~-25?C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
+25~+85?C |
|
|
|
| ||
輸出電壓漂移 |
|
|
|
| ||
Max |
|
|
|
| ||
+25~-25?C | -4% 讀數(shù) | ±5.0% 讀數(shù) | +24.0% 讀數(shù) | -5% 讀數(shù) | ||
+25~+85?C | +4% 讀數(shù) | ±5.0% 讀數(shù) | -24.0% 讀數(shù) | +5% 讀數(shù) | ||
重復(fù)性& 遲滯Max | ±0.5% 讀數(shù) | ± 1% 讀數(shù) | ±0.5% 讀數(shù) | ±1% 讀數(shù) | ||
| Min Typ. | Max. |
| |||
電源（VDC） | 8.0 10±0.01 | 15 （2） |
| |||
功耗（mW） | 50 | 60 |
| |||
反應(yīng)時間（ms） | 1.0 | 3.0 （1） |
| |||
共模壓力（psi） <, /TD> |
| 25 |
| |||
工作溫度 | -25~85?C |
|
| |||
儲存溫度（?C） | -40~90?C |
|
| |||
沖擊（5drops,6axis） | 100g峰值（5drops,6axis） |
|
| |||
注：1、信號處理zui初預(yù)熱所須時間zui多1 分鐘
2、輸出電壓隨電源電壓而比率變化
3、差壓器件的溫漂主要是由氣體的濃度隨溫度而變化
氣流器件的溫漂主要是薄膜TCR 的系數(shù)的二次根及厚膜電阻的溫飄，加上運(yùn)放的溫飄
4、為防止損壞，zui大允許流量變化值：5.0SLPM/1.0 秒
AWM3000系列氣體質(zhì)量流量傳感器*型號:
*型號 | 量程 |
AWM3100V | +200SCCM |
AWM3201CR | ±0.5 英寸水 |
AWM3200V | ±2 英寸水 |
AWM3300V | +1000SCCM |
智能制造網(wǎng)