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該導(dǎo)航系統(tǒng)可以將CAD數(shù)據(jù)的布線和大規(guī)模集成電路的設(shè)計(jì)圖形和FIB的觀察圖像相對(duì)應(yīng)起來(lái)。當(dāng)CAD系統(tǒng)中的坐標(biāo)位置,樣品臺(tái)就會(huì)通過(guò)鏈接移動(dòng)到相應(yīng)位置,就可以獲得相應(yīng)位置的SIM圖像。同時(shí),CAD數(shù)據(jù)和SIM圖像也可以重疊顯示。因此,很容易檢查到下層布線的狀態(tài),實(shí)質(zhì)上提高了分析的效率,有利于進(jìn)一步進(jìn)行修理工作。
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