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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      思耐達(dá)精密儀器(上海)有限公司


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      日立 FIB-SEM三束系統(tǒng)NX2000

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      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地上海市

      聯(lián)系方式:李經(jīng)理查看聯(lián)系方式

      更新時間:2024-03-23 20:18:53瀏覽次數(shù):194次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:31條

      所在地區(qū):

      聯(lián)系人:李經(jīng)理

      產(chǎn)品簡介

      產(chǎn)品介紹 在設(shè)備及高性能納米材料的評價和分析領(lǐng)域,F(xiàn)IB-SEM已成為的工具。 近來,目標(biāo)觀察物更趨微細(xì)化;更薄,更低損傷樣品的制備需求更進(jìn)一步凸顯。 日立高新公司,整合了高性能FIB技術(shù)和高分辨SEM技術(shù),再加上加工方向控制技術(shù)以及Triple Beam®*1(選配)技術(shù),推出了新一代產(chǎn)品NX2000

      詳細(xì)介紹

      em-nx2000_main.webp.jpg



      產(chǎn)品介紹:


      追求的TEM樣品制備工具

      在設(shè)備及高性能納米材料的評價和分析領(lǐng)域,F(xiàn)IB-SEM已成為的工具。

      近來,目標(biāo)觀察物更趨微細(xì)化;更薄,更低損傷樣品的制備需求更進(jìn)一步凸顯。

      日立高新公司,整合了高性能FIB技術(shù)和高分辨SEM技術(shù),再加上加工方向控制技術(shù)以及Triple Beam?*1(選配)技術(shù),推出了新一代產(chǎn)品NX2000


      產(chǎn)品特點:


      運用高對比度,實時SEM觀察和加工終點檢測功能,可制備厚度小于20 nm的超薄樣品



      FIB加工時的實時SEM觀察*2例

      樣品:NAND閃存

      加速電壓:1 kV

      FOV:0.6 μm


      加工方向控制技術(shù)(Micro-sampling?*3系統(tǒng)(選配)+高精度/高速樣品臺*)對于抑制窗簾效應(yīng)的產(chǎn)生,以及制作厚度均一的薄膜類樣品給予厚望。



      Triple Beam?*1(選配)可提高加工效率,并能使消除FIB損傷自動化



      EB:Electron Beam(電子束)

      FIB:Focused Ion Beam(聚焦離子束)

      Ar:Ar ion beam(Ar離子束)


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