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      日立 球差場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡 HF5000
      
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      產(chǎn)品介紹 200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能  通過單極片實(shí)現(xiàn)0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX。 透射電子顯微鏡除了延續(xù)了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700"的球面像差校正器的功能、自動(dòng)校正功能，像差校正后的SEM圖像和對(duì)稱Dual SDD技術(shù)等特點(diǎn)。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術(shù)。 對(duì)于包括......
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			            
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      產(chǎn)品介紹：

      200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能

      通過單極片實(shí)現(xiàn)0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX。
      透射電子顯微鏡除了延續(xù)了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700"的球面像差校正器的功能、自動(dòng)校正功能，像差校正后的SEM圖像和對(duì)稱Dual SDD技術(shù)等特點(diǎn)。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術(shù)。
      對(duì)于包括用戶在內(nèi)的廣泛用戶，我們提供亞?級(jí)空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀察和分析方法。

      ※ 附帶第二顯示器（可選），顯示屏為嵌入式合成界面。

      產(chǎn)品特點(diǎn)：

      1、標(biāo)配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動(dòng)校正功能）
      2、搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場(chǎng)FE電子槍
      3、鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機(jī)體的性能大幅度提升
      4、觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時(shí)觀察原子分辨率SE圖像
      5、采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)以及樣品桿
      6、支持高立體角EDX*的對(duì)稱配置（對(duì)稱Dual SDD*）
      7、采用全新構(gòu)造的機(jī)體外殼蓋
      8、配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿*
      * 選項(xiàng)

      高輝度冷場(chǎng)FE電子槍×高穩(wěn)定性×日立制球面像差校正器
      以長(zhǎng)年積累起來的高輝度冷場(chǎng)FE電子源技術(shù)為基礎(chǔ)，進(jìn)行優(yōu)化，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)電子槍的高度穩(wěn)定性。
      此外，還更新了鏡體，電源系統(tǒng)和樣品臺(tái)，以支持觀察亞?圖像，并提升了機(jī)械和電氣穩(wěn)定性，然后與日立公司的球差校正器結(jié)合使用。
      不僅可以穩(wěn)定地獲得更高亮度更精密的探頭，而且自動(dòng)像差校正功能可以實(shí)現(xiàn)快速校正，從而易于發(fā)揮設(shè)備的固有性能。使像差校正可以更實(shí)用。

       
      Si（211）單晶體HAADF-STEM圖像（左）和圖像強(qiáng)度曲線分布（右下）、FFT功率譜（右上）

      支持高立體角EDX*的對(duì)稱Dual SDD*
      支持雙重配置100 mm2 SDD檢測(cè)器，以實(shí)現(xiàn)更高的靈敏度和處理能力進(jìn)行EDX元素分析。
      由于第二檢測(cè)器位于檢測(cè)器的對(duì)面位置，因此，幾乎不會(huì)因?yàn)闃悠穬A斜，導(dǎo)致X射線中的信號(hào)檢測(cè)量發(fā)生變化。所以，即使是結(jié)晶性樣品，也不用顧忌信號(hào)量，可按照樣品的方向與位置進(jìn)行元素分析。
      此外，對(duì)于電子束敏感樣品、低X光輻射量的樣品，除了原子列映射，在低倍、廣視野的高精細(xì)映射等領(lǐng)域也極為有效。

       
      GaAs（110）的原子柱EDX映射

      像差校正SEM圖像/STEM圖像　同時(shí)觀察
      配有標(biāo)配二次電子檢測(cè)器，可同時(shí)觀察像差校正SEM/STEM圖像。通過同時(shí)觀察樣品的表面和內(nèi)部結(jié)構(gòu)，可以掌握樣品的三維構(gòu)造。
      在像差校正SEM圖像中，除了可以通過校正球差來提高分辨率之外，還可以獲取更真實(shí)地樣品表面圖像。

       

      Au/CeO2催化劑的SEM/ADF-/BF-STEM圖像（上段）和Au粒子的高分辨率圖像（下段）

      主要規(guī)格：

      項(xiàng)目內(nèi)容
      電子源W（310）冷陰極場(chǎng)發(fā)射型
      加速電壓200 kV、60 kV*1
      圓像分辨率STEM0.078 nm（ADF-STEM圖像）
      TEM0.102 nm（晶格像）
      倍率STEM×20～×8,000,000
      TEM×100～×1,500,000
      樣品微動(dòng)樣品臺(tái)偏心測(cè)角儀（Eucentric Goniometer）5軸樣品臺(tái)
      樣品尺寸3 mm Φ
      移動(dòng)范圍X, Y＝±1.0 mm，Z=±0.4 mm
      樣品傾斜α＝±25°、β＝±35°（日立2軸傾斜樣品桿*1）
      像差矯正器配有日立照射系統(tǒng)球面像差校正器（標(biāo)配）
      圖像顯示PCWindows® 7 *2
      顯示器27英寸寬屏液晶顯示器（機(jī)體控制顯示器、第二顯示器*1）
      攝像頭標(biāo)配伸縮式攝像頭
      屏幕攝像頭*1（用于熒光板觀察）

      機(jī)體尺寸/重量

      項(xiàng)目寬度×進(jìn)深×高度（mm）重量（kg）
      鏡體（含電子槍）1060×1742×29701940
      機(jī)體外殼蓋1678×1970×3157429
      操作臺(tái)1400×819×740132
      擴(kuò)展操作臺(tái)*1580×819×74053
      FE槽1041×840×1317482
      V0槽398×630×1046164
      控制電源1400×693×816173
      像差校正器電源606×529×109681
      排氣系統(tǒng)電源913×663×1790378
      轉(zhuǎn)向系統(tǒng)電源913×663×1790394
      配重塊290×130×13023
      Gatan控制器*1*3576×648×1173150
      冷卻水控制裝置470×540×35025
      冷卻水循環(huán)裝置*1*3970×970×106495
      干式泵*1252×400×33623
      空壓機(jī)*1275×560×57625

      安裝條件

      項(xiàng)目內(nèi)容
      室溫15~23℃（溫度變化：0.2℃/h以內(nèi)）
      濕度40~60%RH
      電源機(jī)體單相AC200～240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA
      斷路器容量 50 A
      冷卻水循環(huán)裝置*1*3三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A
      接地D種接地（100 Ω以下）
      冷卻水水量5.1～5.3 L/min 1系統(tǒng)、2.0～2.2 L/min 1系統(tǒng)
      （水壓0.25 MPa）
      水溫16～18℃（變動(dòng)：±0.1℃以內(nèi)）
      氣體SF699.9%以上、180 k～200 kPa
      干氮99.9%以上、0～100 kPa
      壓縮空氣600 k～800 kPa

      購(gòu)買之前，請(qǐng)?jiān)O(shè)置預(yù)定安裝處測(cè)量振動(dòng)、磁場(chǎng)和噪聲，如果超過容許值，請(qǐng)務(wù)必另行咨詢。
      關(guān)于容許值，請(qǐng)另行咨詢。

      備注*1：選項(xiàng)。*2：Windows是在美國(guó)以及其他國(guó)家的注冊(cè)的美國(guó)Microsoft Corp.商標(biāo)。*3：規(guī)格、尺寸均根據(jù)廠家、型號(hào)和配置的不同而會(huì)有所不同。

      布局示例：

       

      ※ 使用上述配置(包含維護(hù)工具），整體設(shè)備總重量約為5,000kg。
      ※ 請(qǐng)檢查地面強(qiáng)度（kg/m2）＞3×設(shè)備總重量（kg）/占地面積（m2）。
      
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
      
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