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      蘇州上器試驗(yàn)設(shè)備有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      美能探針式臺階儀SP200
      
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      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
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								更新時(shí)間：2024-03-13 18:22:18瀏覽次數(shù)：189次
							
      
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      經(jīng)營模式：其他
      
						
      商鋪產(chǎn)品：43條
      
						
      所在地區(qū)：
      
																		
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      表面微觀特征是材料、化學(xué)、精密制造等領(lǐng)域的主要研究內(nèi)容，準(zhǔn)確地評價(jià)表面微觀形貌、表面特征等，對于相關(guān)材料的評定、性能的分析和加工工藝的改善都具有重要意義。在半導(dǎo)體、光伏、LED、MEMS器件、材料等領(lǐng)域，表面臺階高度、膜厚的準(zhǔn)確測量具有十分重要的價(jià)值，尤其是臺階高度是一個(gè)重要的參數(shù)，對各種薄膜臺階參數(shù)的精確、快速測定和控制，是保證材料質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率的重要手段。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                     
           
               
      出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性
               
                   (1)單拱龍門式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性優(yōu)異，大大降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。； 
      (2)線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um 量程下可達(dá)0.01 埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。;         
           
           
               
      超微力恒力傳感器：1-50mg可調(diào)
               
                 的傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺上即可實(shí)現(xiàn)超微力和正常力測量。測力恒定可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制，實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量。         
           
           
               
      超平掃描平臺
               
                  系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌，杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng)，提高掃描精度，真實(shí)反映工件微小形貌。         
           
       
        
            
      全自動(dòng)XY載物臺，Z軸自動(dòng)升降、360°全自動(dòng)θ轉(zhuǎn)臺
           
                 精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺，可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，三維位置均可以調(diào)節(jié)，利于樣品調(diào)整，提高測量效率。      
       
           
      項(xiàng)目         內(nèi)容     
           
               技術(shù)測量         探針式表面輪廓測量技術(shù)     
           
               樣品觀測         光學(xué)導(dǎo)航攝像頭：500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)，F(xiàn)oV，1700*1400μm     
           
               探針傳感器         超低慣量，LVDC傳感器     
           
               測量力         1-50mg可調(diào)     
           
               探針選型         探針曲率半徑2μm，夾角60°     
           
               Z軸測量重復(fù)性         ＜0.5%         
      在環(huán)境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測量4.7um標(biāo)準(zhǔn)臺階樣塊      		     
           
               平臺移動(dòng)范圍X/Y         電動(dòng)X/Y（100mm*100mm）（可手動(dòng)校平）     
           
               樣品R-θ載物臺         電動(dòng)，360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)     
           
               單次掃描長度         55mm     
           
               樣品厚度         50mm     
           
               載物臺晶圓尺寸         150mm（6時(shí)），200mm（8時(shí)）     
           
               臺階高度重復(fù)性         ＜1nm（測量1μm臺階高度，1δ）     
           
               傳感器量程         330μm     
           
               垂直分辨力         分辨力＜0.25 ?（量程為13um時(shí)）      
           
               掃描速度         2μm/s-10mm/s     
           
               儀器電源         100-240 VAC，50/60 Hz     
           
               使用環(huán)境         相對濕度：濕度（無凝結(jié)）30-40% RH         
      溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)         
      地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz）         
      音頻噪音：≤80dB         
      空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動(dòng)）       		     
           
               尺寸和重量         長×寬×高: 640*626*534(mm)         
      儀器總重量：<50kg      		     
       
              
			        
      
			    
      
                			    
      關(guān)鍵詞：力測量  彩色攝像機(jī)
      
                                                				
      
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