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蘇州上器試驗(yàn)設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間:2023-06-06 09:11:29瀏覽次數(shù):177次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 智能制造網(wǎng)"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍,可以獲得高穩(wěn)定的束流。通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
超高分辨率冷場(chǎng)發(fā)射
為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍
?沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍
?采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的優(yōu)質(zhì)性能
?(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
?采用污染小、高真空樣品倉(cāng)
?運(yùn)用能量過(guò)濾器(選配),可觀察到多種成分對(duì)比度
項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
---|---|
二次電子分辨率 | Regulus 8100:0.7 nm(加速電壓15 kV);0.8 nm(著陸電壓1 kV) Regulus 8220/8230/8240:0.6 nm(加速電壓 15 kV);0.7 nm(著陸電壓 1 kV) |
著陸電壓 | Regulus 8100:0.1~2 kV Regulus 8220/8230/8240:0.01~20 kV |
放大倍率 | Regulus 8100:20~1,000,000倍 Regulus 8220/8230/8240:20~2,000,000倍 |
樣品臺(tái)控制 | Regulus 8100:3軸馬達(dá)臺(tái)(可選5軸馬達(dá)臺(tái)) Regulus 8220/8230/8240:5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
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