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Bronkhorst氣體質(zhì)量流量計(jì)FG-110C用于質(zhì)譜

氣體流量測(cè)控

Bronkhorst氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器，精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)快速。

熱式原理和科里奧利原理，種類齊全，可選量程寬?？蔀閷?shí)驗(yàn)室、設(shè)備、工業(yè)和危險(xiǎn)區(qū)域的應(yīng)用提供多種標(biāo)準(zhǔn)和定

制儀器。

量程范圍從 0.014 mln/min 到 11000 m3n/h (等量N2)。小流量科里奧利質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器不受流體特性影響，

既可用于氣體，也可以用于液體。

EL-FLOW PRESTIGE

EL-FLOW Prestige 作為Bronkhorst新一代熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，在通用性和用戶操作方便性方面具有

突破性的變革與創(chuàng)新。

創(chuàng)新的信號(hào)處理技術(shù)

穩(wěn)定的流量控制，受過(guò)程波動(dòng)的影響低

創(chuàng)新型控制閥設(shè)計(jì)

一個(gè)產(chǎn)品即可預(yù)置多種氣體曲線并根據(jù)需要設(shè)定量程范圍

顯著降低能耗

可實(shí)現(xiàn)多種通訊方式及客戶定制的I/O功能

最小流量: 0.014…0.7 ml/min

最大流量: 2…100 l/min

特點(diǎn)

高精度 (standard 0.5% Rd plus 0.1% FS)

量程比高達(dá)1：150

迅速的動(dòng)態(tài)響應(yīng)

多氣體/多量程功能（可選100種氣體;量程可在40％-120％進(jìn)行拓展，也可直接訂制量程范圍（FS值）

耐壓能力10/64/100bar

模擬I/O信號(hào)，RS232連接;可選現(xiàn)場(chǎng)總線通訊

多種可選的用戶自定義I/O配置

用戶可編程的控制特性

堅(jiān)固的金屬外殼

安全性 IEC 61010-1

Bronkhorst氣體質(zhì)量流量計(jì)FG-110C用于質(zhì)譜

應(yīng)用領(lǐng)域

大學(xué)及研發(fā)機(jī)構(gòu)，研發(fā)設(shè)備

分析/環(huán)保設(shè)備

食品、化工、石化等行業(yè)的氣體流量監(jiān)控

氣體計(jì)量系統(tǒng)中的氣體消耗監(jiān)測(cè)

氣體泄漏檢測(cè)系統(tǒng)

半導(dǎo)體制造業(yè)

表面處理設(shè)備

測(cè)量/控制系統(tǒng)

精度(包括線性) ±0.5%

重復(fù)性 < ± 0.04%

量程比 1:150;

設(shè)定時(shí)間（控制） < 500 ms

運(yùn)行溫度 -10…70°C

溫度敏感性< 0.02%

壓力敏感性 < 0.15%

集成壓力傳感器精度 (PI選項(xiàng)) ± 0.25%

泄漏率 < 2 x 10-9 mbar l/s

預(yù)熱時(shí)間 30 min.

電源 +15…24 Vdc

量程范圍 0.014…0.7 ml/min -0.18…9 ml/min

壓力等級(jí) 100 bar

Bronkhorst氣體質(zhì)量流量計(jì)FG-110C用于質(zhì)譜

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