一、關(guān)于氬氣純化的方法：
種
直接脫氧法。就是使用活性金屬、催化劑與氬氣中的氧氣進(jìn)行反應(yīng)，消化掉氬氣中的氧氣，從而達(dá)到脫氧的目的，經(jīng)過分子篩吸收掉氬氣中的水份，使氬氣的含水量小于1ppm。
第二種
是采用吸氣劑。在一定溫度下，吸氣劑可吸收氮、氫、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體經(jīng)吸收處理后，氬氣的純度可達(dá)到6個(gè)九，這種工藝生產(chǎn)出來的高純氣體適用于各類儀器儀表適用要求。
種方法設(shè)備投資小，第二種方法設(shè)備純化純度高但投資相對較大。
二、技術(shù)參數(shù)：
1、處理氣量： 5~3000 Nm3/h(可根據(jù)用戶需要訂做非標(biāo)設(shè)備)
2、原料氣要求： 液氬或者較好的管道氬均可使用
3、工作壓力0.2-1.6MPa可調(diào)
4、(氬氣凈化器)凈化效能：純化后符合并高于GB/T4842-2006的99.9996%要求
氣體
純度(%)
H2(ppm)
O2(ppm)
N(ppm)
CO2(ppm)
CH4(ppm)
露點(diǎn) (H2O)
精氬
99.9996
≤0.5
≤0.5
≤0.5
≤0.5
≤0.5
≤1.5
三、設(shè)備特點(diǎn)：
1、凈化劑特點(diǎn)有吸附深度好，吸收雜質(zhì)氣體量大的特點(diǎn)，純度可達(dá)99.99999%以上;
2、凈化器采用特殊結(jié)構(gòu)和裝料方法，流速設(shè)計(jì)合理，氣流分布均勻;
3、全B內(nèi)外精拉管管路。采用進(jìn)口卡套式球閥。杜絕了氣體流經(jīng)管路的再次污染。
4、雙式結(jié)構(gòu),開機(jī)后一組工作，另一組再生、備用,而且RZ-YA-C系列半自動純化裝置工作和再生都自動進(jìn)行,故能夠連續(xù)供氣,一臺能頂單式的兩臺使用。
5、本公司生產(chǎn)的RZ-YA-D系列全自動氬氣純化裝置功能說明：
A、具有全自動功能,使用操作簡單，開、停機(jī)只需按兩個(gè)按鈕，不需扭動任何閥門，這些工作都由PLC程序自動進(jìn)行；這還克服了手動和半自動機(jī)型因人為操作失誤引起的氣體不純，因此純氣質(zhì)量也更加穩(wěn)定。
B、控制文本顯示器采用合資品牌-昆侖通泰7吋液晶觸摸屏，實(shí)時(shí)模擬顯示工作流程狀態(tài)和各種參數(shù)顯示，并隨時(shí)可以實(shí)現(xiàn)各參數(shù)的修正，極大的方便工作人員的操作。
C、可根據(jù)用戶需要配備在線分析儀，時(shí)時(shí)在線監(jiān)測。
四、應(yīng)用領(lǐng)域：
該系列氬氣純化裝置用于高純氣體充裝站、焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護(hù)氣。
關(guān)鍵詞
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