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更新時間:2023-01-04 12:38:11瀏覽次數(shù):204次
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離子濺射儀NE-900依據(jù)二極(DC)直流濺射原理
型號 | 離子濺射儀NE-900 |
主機規(guī)格 | 300mm×360mm×380mm(W×D×H) |
靶(上部電極) | 50mm×0.1mm(D×H) |
靶材 | Au(標(biāo)配) |
樣品室 | 硼硅酸鹽玻璃 160mm×120mm(D×H) |
靶材尺寸 | Ф 50mm |
真空指示表 | 真空度:≤ 4X10-2 mbar |
離子電流表 | 電流:50mA |
定時器 | 最長時間:0-360S |
微型真空氣閥 | 可連接φ 3mm 軟管 |
可通入氣體 | 多種 |
電壓 | -1600 DCV |
機械泵 | 標(biāo)準(zhǔn)配置 2L/S(國產(chǎn) VRD-8) |
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