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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      東莞市正凱機(jī)電設(shè)備有限公司


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      曝光機(jī)設(shè)備ZKUE-552

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      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

      聯(lián)系方式:段啟海查看聯(lián)系方式

      更新時(shí)間:2023-06-11 19:49:34瀏覽次數(shù):234次

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      經(jīng)營(yíng)模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:40條

      所在地區(qū):

      聯(lián)系人:段啟海

      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      曝光機(jī)設(shè)備專門用于FILM黃光制程而設(shè)計(jì)制作的專用設(shè)備,系統(tǒng)采用進(jìn)口平行光源、雙工位抽屜進(jìn)出曝光平臺(tái)交替工作進(jìn)行FILM濕膜、干膜曝光。雙工位平臺(tái)真空吸附將FILM與MASK貼緊,曝光解析度20UM。

      詳細(xì)介紹

      曝光機(jī)設(shè)備


      一、設(shè)備概述

      曝光機(jī)設(shè)備專門用于FILM黃光制程而設(shè)計(jì)制作的專用設(shè)備,統(tǒng)采用進(jìn)口平行光源、雙工位抽屜進(jìn)出曝光平臺(tái)交替工作進(jìn)行FILM濕膜、干膜曝光。雙工位平臺(tái)真空吸附將FILM與MASK貼緊,曝光解析度20UM。

      二、設(shè)備規(guī)格以及主要技術(shù)指標(biāo)

      ◆產(chǎn)品規(guī)格:有效曝光面積400MM x 500MM

      曝光平臺(tái)面積> 500MM x 600MM

      ◆電源: AC380V 3f 50HZ 7KVA
      ◆機(jī)臺(tái)外尺寸: W1350MM x L3250MM x H2350MM
      ◆曝光方式:單面曝光玻璃VS玻璃x 2組,采用電磁鎖控制
      ◆曝光燈管: 5KW x 1PCS(平行光曝光燈)曝光光強(qiáng)> 20MW/Cm,燈管保用800H
      ◆光學(xué)系統(tǒng):采用進(jìn)口曲面MIRROR反射光學(xué)系統(tǒng)
      ◆曝光均勻度: > 90%
      ◆冷卻系統(tǒng):燈管:外部冰水冷卻內(nèi)循環(huán)水.臺(tái)面:強(qiáng)制氣冷式
      ◆曝光控制器:智慧型人機(jī)界面及曝光能量控制(能量模式及時(shí)間模式)
      ◆真空系統(tǒng): 400MMHG以上
      ◆冷水系統(tǒng):冰水7-12C流量60L /MIN,進(jìn)出水管徑1"

      ◆燈源: UV能量積分器進(jìn)行曝光能量設(shè)置和控制主動(dòng)風(fēng)冷式降溫保護(hù)(有緊急

      停止保護(hù))

      ◆空壓系統(tǒng): 4-7KF/CM2,中12MM, 200L /MIN
      ◆平行半角: DA<2。
      ◆曝光精度:線路寬30UM,線間距30UM
      ◆曝光能量設(shè)置: 365NM
      ◆點(diǎn)燈計(jì)時(shí):配置時(shí)間計(jì)時(shí)器,可清零
      ◆平臺(tái)平面精度: 0.02MM內(nèi)
      ◆平臺(tái)真空:平臺(tái)真空將FILM與MASK貼緊(使用鉻版時(shí)可不用)
      ◆平臺(tái)進(jìn)出曝光區(qū):上下框架交替進(jìn)出
      ◆機(jī)內(nèi)環(huán)境: CL ASS100內(nèi)
      ◆檢測(cè)系統(tǒng):程序及傳感器檢測(cè)動(dòng)作到位狀況
      ◆燈管保護(hù):燈室過(guò)熱檢知及門打開時(shí)UV燈強(qiáng)制熄滅

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