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      安博元科技無錫有限公司


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      THERMOVAC 變送器 真空計 TTR 96 N S

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      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

      聯(lián)系方式:周先生查看聯(lián)系方式

      更新時間:2022-12-18 14:12:06瀏覽次數(shù):322次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:10條

      所在地區(qū):

      聯(lián)系人:周先生

      產(chǎn)品簡介

      TTR 91 Nnbsp;和nbsp;TTR 96 N THERMOVACnbsp;系列真空變送器可提供從nbsp;5×10-5nbsp;到nbsp;1000nbsp;毫巴的較大測量范圍,基于對nbsp;MEMS Piraninbsp;硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。nbsp;nbsp;TTR 91 Nnbsp;和nbsp;TTR 96 N THERMOVACnbsp;變送器用途廣泛,......

      詳細介紹

      TTR 91 N TTR 96 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從10-5 1000 毫巴的較大測量范圍,基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。

      TTR 91 N TTR 96 N THERMOVAC 變送器用途廣泛,可用作獨立裝置,或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) Display 控制器 (P/N: 230001230024230025)。所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 GraphixDisplay Center 控制器。

      每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外,每個變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補償。

      變送器擁有多達三個機械繼電器,這些繼電器可用于過程控制,例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備,用于獲取壓力讀數(shù),或進行壓力控制。

      傳感器技術(shù)

      變送器具備單獨的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統(tǒng))) 傳感器 元件,元件測量基于熱傳導(dǎo)性的測量。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片,其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀,空腔內(nèi)無法進行對流,因此,傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散,氣體分子只到達熱元件,在此處可測量氣體的熱損耗。傳感器元件極為堅固耐用,可承受較高重力和瞬間空氣涌入。

      應(yīng)用

      變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中,如:工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:

      · 一般真空壓力測量

      · 前級管道和粗抽壓力測量

      · 氣體回填測量和控制

      · 質(zhì)譜儀控制

      · 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)

      · 系統(tǒng)過程控制

      · 檢測異常壓力,利用繼電器設(shè)定點采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>

      · 控制系統(tǒng)壓力


      P/N: 230045V02 230047V02 含有 Parylene-HT®涂層傳感器。

      Parylene-HT®是保形涂層,氣體阻隔性,不釋氣。與標準 MEMS Pirani 相比,Parylene-HT®涂層傳感器對各種腐蝕性氣體的耐受性更強。涂層覆蓋整個傳感器芯片,包括接線。因此,暴露于處理氣體的材料只有 Parylene-HT®涂層。 如需更多詳情,請聯(lián)系應(yīng)用支持部門。

      廢棄處理

      TTR 91 N 96 N 變送器是根據(jù) RoHS (在電子電氣設(shè)備中限制使用某些有害物質(zhì)) 指令制造的。



      技術(shù)數(shù)據(jù)

      測量原理: 熱傳導(dǎo)性依據(jù) MEMS Pirani 傳感器而定

      測量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 1000 毫巴

      精確度 (1) (N2): 5×10-4 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ± 10%

      10-3 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ± 5%

      100 1000 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ± 25%

      重復(fù)性 (1) (N2): 1×10-3 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ± 2%

      電源電壓: 9 30 伏直流

      功耗: < 1.2

      熔絲 (熱可恢復(fù)): 200 毫安

      模擬輸出 (100 歐阻抗): 0.61 10 伏直流,Log. 1.286 伏直流/十進制

      模擬輸出分辨率: 16

      模擬輸出更新率: 16 赫茲

      傳感器故障,模擬輸出: 0.5

      材料暴露于真空 (2):

      P/N: 230035V02 230043V02: 304 號不銹鋼、密封材料 FPM

      P/N: 230045V02230047V02: 304 號不銹鋼、密封材料 FPM、Parylene-HT®

      設(shè)定點繼電器:

      P/N: 230035V02 230038V02: 0

      P/N: 230040V02 230047V02: 2

      設(shè)定點繼電器范圍: 2×10-4 1000 毫巴

      設(shè)定點繼電器觸點額定值: 1 / 30 伏直流/交流 (電阻性負載)

      設(shè)定點繼電器響應(yīng)時間: < 100 毫秒 設(shè)定點繼電器觸點電阻: 100 毫歐 () 設(shè)定點繼電器觸點耐久性: 100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負載)

      設(shè)定點繼電器觸點耐久性: 2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負載)

      內(nèi)部容積:

      P/N: 230035V02、230040V02、230045V02: KF16 2.80 厘米3

      P/N: 230036V02: CF 16 3.71 厘米3

      P/N: 230038V02、230043V02: NPT 1/8" 3.04 厘米3 P/N: 230037V02、230047V02: CF 16 (可烘烤) 23.14 厘米3

      外殼材質(zhì): 304 號不銹鋼

      重量:

      P/N: 230035V02230040V02、230045V02: 168

      P/N: 230036V02: 195

      P/N: 230038V02、230043V02: 183

      P/N: 230037V02230047V02: 250

      允許壓力: 6

      運行溫度: 0 40 °C (32 104 °F)

      烘烤溫度 (電源關(guān)閉) (3): 85 °C (185 °F)

      250 °C (482 °F) (僅適用于 P/N: 230037V02、230047V02) (3)

      燈絲溫度: 超過室溫 35 °C

      異物防護等級: IP40

      泄漏速率: < 5?10-9 毫巴?/

      (1) 精確度和重復(fù)性數(shù)值是零位調(diào)整后在室溫氮氣氛下測得的典型數(shù)值。

      (2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表,請聯(lián)系 Leybold。

      (3) 只有 CF 16 法蘭末端處允許采用烘烤溫度。變送器溫度不得超過 85 °C (185 °F)。因此,不建議在烘烤期間熱絕緣或直接加熱變送器和法蘭。


      配件和備件編號

      零件

      產(chǎn)品號

      TTR 91 NDN16 KF

      230035V02

      TTR 91 N,DN16 CF

      230036V02

      TTR 91 N,DN16 CF,可烘烤

      230037V02

      TTR 91 N,1/8" NPT

      230038V02

      TTR 91 NDN16 KF,2SP

      230040V02

      TTR 91 N,1/8" NPT,2SP

      230043V02

      TTR 96 N C,DN16 KF2SP

      230045V02

      TTR 96 N C,DN16 CF,可烘烤,2SP

      230047V02



      Display 1

      230001

      Display 2

      230024

      Display 3

      230025



      Graphix 1

      230680V01

      Graphix 2

      230681V01

      Graphix 3

      230682V01



      A 型電纜,5

      12426

      A 型電纜,10

      230012

      A 型電纜,15

      12427

      A 型電纜,20

      12428

      A 型電纜,30

      12429

      A 型電纜,50

      12431

      A 型電纜,75

      12432

      A 型電纜,100

      12433



      螺旋管 DN 16 ISO-KF

      230082



      定心環(huán) (1.4305 號不銹鋼),含 O 型環(huán),DN16 KF

      88346

      定心環(huán) (不銹鋼),含燒結(jié)金屬過濾器,DN16 KF

      88351

      卡環(huán) (),DN16 KF

      18341

      定心環(huán),含細濾器 DN 16 ISO-KF

      88396

      CF 螺栓,含雙螺母 M4+20

      83887

      CF 銅墊片 DN16 CF

      ES83941


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