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更新時(shí)間:2022-12-09 11:25:58瀏覽次數(shù):357次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 智能制造網(wǎng)測(cè)量加溫設(shè)備的溫度均勻性
TC Wafer 選配軟件·概述配合 TC Wafer 溫度數(shù)據(jù)讀取適配的多功能儀器。內(nèi)含軟件可以讀取 TCWafer 測(cè)溫?cái)?shù)據(jù)并進(jìn)行分析?!ぬ攸c(diǎn)• 傳輸通道數(shù)量可定制• 優(yōu)異的軟件功能, 可用圖形及顏色顯示溫度分布狀況• 數(shù)據(jù)可儲(chǔ)存調(diào)用• 可提供各個(gè)量溫點(diǎn)的溫度曲線圖及溫度剖面圖。
TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器,可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測(cè)量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器,可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整天晶圓溫度分布;同時(shí),也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化,例如:升溫,降溫過程及延遲周期等?。囟鹊木鶆蚺c否,良率)
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