1．技術(shù)參數(shù)
l 曝光面積：150mmX150mm
l 曝光波長：365nm
l 分辨力：0.8-1um（膠厚2 um的正膠）
l 對準精度：±0. 6um
l 掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm
l 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
l 樣片尺寸：直徑f15mm-- f150mm（各種不規(guī)則片）
厚度0.1mm--5mm(可拓展至15mm)
l 曝光方式：定時（倒計時方式），0.1s-9999s
l 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
l 照明不均勻性： 2.5%（f100mm 范圍） 5%（f150mm范圍）
l 雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍
物鏡三對：4倍、10倍、20倍
目鏡三對：10倍、16倍、20倍
l 調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
l 數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
l 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
l 掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
l 膠厚：500mm(SU8膠)
l 光源平行性：2°
l 曝光能量密度：>18mW/cm2
l 冷卻方式：循環(huán)水+風(fēng)冷
l 曝光面溫度：<30°C
l 汞燈功率：1000W（直流，進口
2．外形尺寸：1400mm（長）′1200mm(寬) ′1950mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
l 冷光橢球鏡
l 1000W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗,長壽命型)
l XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
l 冷卻風(fēng)扇
l 光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（109個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2
l 循環(huán)水冷系統(tǒng)
（2）對準工件臺
l 掩模樣片整體運動臺
l 掩模樣片相對運動臺
l 轉(zhuǎn)動臺
l 樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成
l 樣片調(diào)焦機構(gòu)，自動調(diào)
l 承片臺4個（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）
l 掩模夾4個（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）
l 基片抽拉式上下片機構(gòu)
（3）對準顯微鏡
l 光源（配備品2只）、電源
l 雙目雙視場對準顯微鏡主體
l 目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）
l 物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）
（4）CCD對準系統(tǒng)(選配)
l 光源（配備品3只）、電源
l 成像光學(xué)系統(tǒng)（兩套）
l 數(shù)據(jù)采集卡
l 三維工件臺（兩套）
l CCD（2只）
（5）電控系統(tǒng)
l 汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)
l 單片機控制系統(tǒng)
l 控制柜桌
l 計算機系統(tǒng)及液晶顯示器
（6）氣動系統(tǒng)
l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
l 電磁閥驅(qū)動
l 氣動儀表
（7）其他附件
l 真空泵一臺（無油泵）
l 空壓機一臺（泵）
l 管道
（8）技術(shù)資料
l 使用維修說明書
l 顯微鏡使用說明書
