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      UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀

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      更新時(shí)間:2023-08-13 08:02:59瀏覽次數(shù):155次

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      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      UVISELPlus橢圓偏振光譜儀UVISELPlus光譜范圍從FUV到NIR:190-2100nmUVISELPlus橢圓偏振光譜儀為*薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優(yōu)化組合

      詳細(xì)介紹


      UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀

      UVISEL Plus光譜范圍從FUV到NIR:190-2100nm
      UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀為*薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優(yōu)化組合。
      UVISEL Plus作為一款高準(zhǔn)確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型,它采用了PEM 相位調(diào)制技術(shù),與機(jī)械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比, 能提供更好的穩(wěn)定性和信噪比。光譜范圍從190nm到2100nm。
      UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技術(shù),可在3分鐘以內(nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品測(cè)試(190-2100 nm),校準(zhǔn)僅需幾分鐘?;谌碌碾娮釉O(shè)備,數(shù)據(jù)處理和高速單色儀,F(xiàn)astAcq技術(shù)能夠?yàn)橛脩籼峁└叻直婕翱焖俚臄?shù)據(jù)采集。FastAcq專(zhuān)門(mén)為薄膜表征設(shè)計(jì),雙調(diào)制技術(shù)可以確保您獲得優(yōu)異的測(cè)試結(jié)果。
      相位調(diào)制技術(shù)的特點(diǎn)為高頻調(diào)制 50 kHz,信號(hào)采集過(guò)程無(wú)移動(dòng)部件:
      測(cè)試全范圍的橢偏角,Ψ (0-90),Δ (0-360)
      從FUV到NIR具有優(yōu)良的信噪比
      數(shù)據(jù)采集速度快,高達(dá)50毫秒/點(diǎn),是動(dòng)力學(xué)研究和在線測(cè)量的理想選擇相比于采用 旋轉(zhuǎn)元件調(diào)制的傳統(tǒng)橢圓偏振光譜儀,UVISEL Plus的相位調(diào)制模式在表征薄膜方面具有更高的靈敏度和精度。它不僅可以探測(cè)到其他橢偏儀無(wú)法觀測(cè)到的極薄膜或界面,還可以表征50µm的厚膜。
       在測(cè)試有背反射的透明樣品時(shí),測(cè)試簡(jiǎn)單、準(zhǔn)確,無(wú)需刮花背面。
      UVISEL Plus還設(shè)計(jì)有多種附件及可選功能,便于客戶根據(jù)應(yīng)用需求及預(yù)算選擇合適的配置。比如,微光斑用于圖案樣品、自動(dòng)變角器、自動(dòng)樣品臺(tái)等。
      UVISEL Plus采用模塊化設(shè)計(jì),可靈活擴(kuò)展。即可用于離線臺(tái)式測(cè)量,也可以耦合于鍍膜設(shè)備做在線監(jiān)控。
      UVISEL Plus可根據(jù)習(xí)慣選擇操作界面,一個(gè)是 DeltaPsi2 具有建模和擬合處理功能;另一個(gè)是 Auto-Soft 用戶導(dǎo)向的全自動(dòng)樣品測(cè)試界面 ,工作流程直觀,易于非專(zhuān)業(yè)人士操作。
      UVISEL Plus搭載FastAcq技術(shù)是材料研究和加工、平板顯示、微電子和光伏領(lǐng)域中優(yōu)選通用光譜型橢偏儀。

      UVISEL Plus是材料科學(xué)研究的理想工具。


      產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
      ●高精度和高靈敏度
      ●模塊化設(shè)計(jì)
      ●寬光譜范圍: 190-2100 nm
      ●集數(shù)據(jù)測(cè)量、建模和自動(dòng)化操作為一體的軟件包


      獲得的信息
      ●膜層厚度,從1?到50 µm
      ●表面和界面粗糙度
      ●光學(xué)常數(shù) (n,k) ,適用于各向同/異性和漸變層
      ●光學(xué)特性如:吸收系數(shù)α, 光學(xué)帶隙Eg
      ●材料性能:合金成分、孔隙率、結(jié)晶度及形貌等
      ●穆勒矩陣
      ●退偏


      配置

      UVISEL 規(guī)格
      ●光譜范圍:標(biāo)配190-885nm,可擴(kuò)展至近紅外2100nm
      ●檢測(cè)系統(tǒng):高分辨率光譜儀配合高靈敏探測(cè)器
       手動(dòng)配置
      ●光斑尺寸:0.05 – 0.1 – 1 mm(針孔)
      ●樣品臺(tái):直徑150mm,手動(dòng)調(diào)節(jié)高度(20mm)和傾角
      ●卡位量角器:手動(dòng)調(diào)節(jié)角度,從55°到90°,步徑5°
       自動(dòng)配置
      ●光斑尺寸:0.05 - 0.1 - 1 mm或0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm(針孔)
      ●自動(dòng)樣品平臺(tái):200 x 200mm或300 x 300mm,手動(dòng)調(diào)節(jié)高度(4mm)和傾角;●XYZ樣品臺(tái),theta平臺(tái)
      ●自動(dòng)量角器:自動(dòng)調(diào)節(jié)角度,從45°到90°,步徑0.01°
       集成型量角器
      ●手動(dòng)調(diào)節(jié)入射角度,從35°到90°,步徑5°
      ●樣品臺(tái):直徑150mm,手動(dòng)調(diào)節(jié)高度(20mm)
      ●自動(dòng)準(zhǔn)直系統(tǒng)(可選)
      ●尺寸: 25cm*21cm*35cm
       在線配置
      ●機(jī)械適配器:CF35或KF40法蘭
      ●易于在在線和離線配置間更改
       選配
      ●附件:冷熱臺(tái)、液體樣品池、電化學(xué)反應(yīng)池、反射模塊(測(cè)試0°入射的反射率)等
      ●可視化:CCD攝像機(jī)
      性能
      ●準(zhǔn)確度:Ψ= 45°±0.01°和Δ=0°±0.01°,空氣對(duì)射1.5 - 5.3 eV
      ●重復(fù)性:NIST 1000? SiO2/Si (190-2100 nm),d±0.1%,n(632.8nm)±0.0001




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