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東莞市晟鼎精密儀器有限公司
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所 在 地東莞市
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更新時間：2024-03-18 18:14:11瀏覽次數(shù)：143次
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SPK-500S寬幅射頻等離子清洗機(jī)是一款不會對材料表面造成損傷，不會出現(xiàn)斷弧、偏弧、不起弧等現(xiàn)象，無需真空腔體，也無需有害氣體吸出系統(tǒng)的設(shè)備，可客制化寬幅線性等離子流水線設(shè)備
等離子表面處理是通過對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性"組成包括：離子、電子、原子、活性基因等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
寬幅等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為四大組成部分：高壓激勵電源、線性等離子發(fā)生裝置、氣體輸送系統(tǒng)、控制系統(tǒng)。
（A）高壓激勵電源：采用射頻電源（13.56MHz）進(jìn)行激勵，保障等離子體均勻，處理過程穩(wěn)定。參數(shù)根據(jù)樣品實際情況可進(jìn)行調(diào)節(jié)，已達(dá)到的改性效果。
（B）線性等離子發(fā)生裝置：采用的等離子發(fā)生結(jié)構(gòu)，常規(guī)處理溫度＜35℃，均勻穩(wěn)定，提高和保證設(shè)備的使用壽命和性能。
（C）氣體輸送系統(tǒng)：搭配Ar和與O?兩路氣體，根據(jù)清洗材質(zhì)的不同，搭配不同氣體。
（D）控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)作用在于控制整個寬幅射頻等離子清洗設(shè)備的運(yùn)行，以及整體系統(tǒng)的保護(hù)。
| 設(shè)備尺寸 | 1800*1107*1675mm（長*寬*高） |
| 重量 | 280KG |
| 需求電源 | AC 220V/50Hz 單相2.5KW |
| 電源功率 | 0-1000W可調(diào)（建議0-450W） |
| 電源頻率 | 13.56MHz |
| 匹配器 | 全自動真空電容匹配器 |
| 處理寬幅 | 500mm |
| 槍頭尺寸 | 570*90*74mm（長*寬*高） |
| 重量 | 10KG |
| 槍頭可調(diào)節(jié)高度 | 0-10mm（調(diào)節(jié)精度±0.3） |
| 常用處理高度 | 1-5mm以內(nèi) |
| 槍頭冷卻范圍 | 25-35℃ |
| 使用氣體 | Ar和O2兩路氣體 |
| Ar氣體調(diào)節(jié)范圍 | ≤50L/min |
| O2氣體調(diào)節(jié)范圍 | ≤50SCCM |
| 流水線速度 | 0-100mm/s可調(diào) |
| 傳送皮帶 | 1.8米 |
| 皮帶材質(zhì) | 防滑PU |
| 感應(yīng)系統(tǒng) | 氣壓報警、功率報警 |
| 報警 | 具備聲光報警功能 |
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