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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      蘇州震拓自動化設(shè)備有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
                當(dāng)前位置：蘇州震拓自動化設(shè)備有限公司>>>>Pfeiffer  普發(fā) APR 4300 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境
            
      
			
      
				
      
					
      Pfeiffer  普發(fā) APR 4300 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境
      
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      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號pfeiffer普發(fā)
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地蘇州市
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：李小姐查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2023-07-25 10:23:04瀏覽次數(shù)：167次
							
      
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      經(jīng)營模式：其他
      
						
      商鋪產(chǎn)品：29條
      
						
      所在地區(qū)：江蘇蘇州市
      
						
      聯(lián)系人：李小姐
      												
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      類型：無菌室監(jiān)控系統(tǒng)品牌：pfeiffer普發(fā)型號：APR 4300描述：普發(fā)污染管理解決方案
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			             
      Pfeiffer   普發(fā) APR 4300 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

      普發(fā) APR 4300 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境.jpg

      產(chǎn)品規(guī)格：
      • 應(yīng)用:
        用于無菌室, 環(huán)境
      產(chǎn)品介紹：
       APR 4300 可在分子層面上凈化 300 mm 的晶圓以及它們的運(yùn)輸箱 (FOUP)，并在等待時(shí)間內(nèi)保護(hù)它們。

      可靠的凈化處理和預(yù)防污染
      APR 是一個(gè)在等待時(shí)間內(nèi)凈化晶圓并防止污染的系統(tǒng)。空氣分子污染物（簡稱 AMC）降低了半導(dǎo)體生產(chǎn)中的產(chǎn)量和質(zhì)量而 APR 則能有效地防止晶圓和輸送箱表面吸附被污染的有機(jī)或無機(jī)分子。通過在 APR 室里進(jìn)行疏散，吸附概率大幅度減少。晶圓廠可通過這種方式顯著地增加產(chǎn)量，且各個(gè)工藝步驟之間的等待時(shí)間也會得到優(yōu)化。

      APR 是如何工作的？
      FOUP 既可以手動傳送，也可通過 2 個(gè)裝載端口上的懸掛式起重運(yùn)輸 (OHT) 來傳送。APR 是一個(gè)帶有四疊真空室的系統(tǒng)，用于對晶圓和 FOUP 作凈化去污處理，這項(xiàng)工作由一個(gè)可靠的機(jī)器人來擔(dān)任。所有腔室都配備了真空泵站、氣箱、操作面板以及帶電源的控制器。且這些腔室均可以單獨(dú)地進(jìn)行操作。當(dāng)把含有晶圓的 FOUP 裝載到腔室以后，腔室中的壓力減少到 0.1 mbar。然后進(jìn)行去污凈化處理。之后，該腔室采用潔凈的氮?dú)膺M(jìn)行吹掃并恢復(fù)到大氣壓。此時(shí)，這些晶圓以及運(yùn)輸箱不受污染已超過一天。

       
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
      
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