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昆山熙日機械設(shè)備有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
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更新時間：2022-11-28 12:11:28瀏覽次數(shù)：184次
聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)SKY®CDG045D0.05...1000Torr/mbarINFICONSKYCDG045D壓力計是實現(xiàn)高精確總壓測量與控制的理想之選
INFICON SKY CDG045D 壓力計是實現(xiàn)高精確總壓測量與控制的理想之選。CDG045D 真空計溫度控制在 45 °C，具有的信號穩(wěn)定性和可重復性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。INFICON CDG 壓力傳感器品質(zhì)，成本效益，適用于苛刻的真空應(yīng)用。
擁有成本更低，預熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設(shè)定點
輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調(diào)零點偏移
診斷端口便于快速服務(wù)與維護
兩年保修服務(wù)，的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
的信號穩(wěn)定性和可重復性，即使是Z嚴苛的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準
合規(guī)性和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產(chǎn)過程
化學和腐蝕性真空過程
一般薄膜和真空過程
作為基準儀器監(jiān)控測試儀器是否符合國際標準
符合傳遞標準，確保測量可追溯性
現(xiàn)在提供 EtherCAT 數(shù)字接口！
| 類型 | 1000 Torr, 1100 mbar | 500 ... 1 Torr / mbar | 0.5 ... 0.05Torr / mbar | |
|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.15 | 0.15 | 0.15 |
| 溫度效應(yīng) | ||||
| 零點 | percent FS/°C | 0.0025 | 0.0025 | 0.005 |
| 滿量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 壓力，Z大 | kPa (absolute) | 400 | 260 | 130 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
| Z低讀數(shù) | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建議的Z低讀數(shù) | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 建議的Z低控制壓力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 溫度 | ||||
| 運行（環(huán)境） | °C | +10 … +40 | +10 … +40 | +10 … +40 |
| 在法蘭處烘烤 | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| 貯存 | °C | –20 … +65 | –20 … +65 | –20 … +65 |
| 電源電壓 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |
| 功耗 | ||||
| 加熱時 | W | ≤12 | ≤12 | ≤12 |
| 運行溫度 | W | ≤8 | ≤8 | ≤8 |
| 輸出信號（模擬） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 反應(yīng)時間 (2) | ms | 30 | 30 | 130 / 30 (3) |
| 保護等級 | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
| 標準 | ||||
| CE 合規(guī) | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 認證 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | |
| SEMI 合規(guī) | SEMI S2 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
| 電氣連接 | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | |
| 設(shè)定點 | ||||
| 設(shè)定點數(shù)量 | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | |
| 繼電器觸點 | ≤30 | ≤30 | ≤30 | |
| 滯后 | percent FS | 1 | 1 | 1 |
| 診斷端口 | ||||
| 協(xié)議 | RS232-C | RS232-C | RS232-C | |
| 讀數(shù) | pressure, status, ID | pressure, status, ID | pressure, status, ID | |
| 設(shè)置 | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) | |
| 內(nèi)部容積 | ||||
| 內(nèi)部容積 1/2'' 管 | cm3 (in.3) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF | cm3 (in.3) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 內(nèi)部容積 DN 16 CF-R | cm3 (in.3) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 內(nèi)部容積 8 VCR® | cm3 (in.3) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 重量 | ||||
| 重量 1/2'' 管 | g | 837 | 837 | 837 |
| 重量 DN 16 ISO KF | g | 852 | 852 | 852 |
| 重量 DN 16 CF-R | g | 875 | 875 | 875 |
| 重量 8 VCR® | g | 897 | 897 | 897 |
| EtherCAT | ||||
| 協(xié)議 EtherCAT | protocol specialized for EtherCAT | protocol specialized for EtherCAT | protocol specialized for EtherCAT | |
| 通訊標準 | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | |
| 節(jié)點地址 | Explicit Device Identification | Explicit Device Identification | Explicit Device Identification | |
| 物理層 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |
| 數(shù)字功能讀取 | pressure, status, ID | pressure, status, ID | pressure, status, ID | |
| 數(shù)字功能設(shè)置 | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | |
| 過程數(shù)據(jù) | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |
| 郵箱 (CoE) | SDO requests, responses and information | SDO requests, responses and information | SDO requests, responses and information | |
| EtherCAT 連接器 | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |
| 電纜 | shielded Ethernet CAT5e or higher | shielded Ethernet CAT5e or higher | shielded Ethernet CAT5e or higher | |
| 電纜長度 | m (ft.) | ≤100 (330) | ≤100 (330) | ≤100 (330) |
| DeviceNet™ | ||||
| 協(xié)議 | DeviceNet™, group 2 slave only | DeviceNet™, group 2 slave only | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 數(shù)據(jù)率 | kBaud | 125, 250, 500 by switch or network programmable | 125, 250, 500 by switch or network programmable | 125, 250, 500 by switch or network programmable |
| 電纜長度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) | 500 (1650) | 500 (1650) |
| 電纜長度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) | 250 (825) | 250 (825) |
| 電纜長度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) | 100 (330) | 100 (330) |
| MAC ID | address 00 - 63 by switch or network programmable | address 00 - 63 by switch or network programmable | address 00 - 63 by switch or network programmable | |
| 數(shù)字功能讀取 | pressure, status, ID | pressure, status, ID | pressure, status, ID | |
| 數(shù)字功能設(shè)置 | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | |
| 技術(shù)規(guī)格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) | |
| 設(shè)備類型 | ''VG'' vacuum gauge | ''VG'' vacuum gauge | ''VG'' vacuum gauge | |
| I / O 從屬傳訊 | polling only | polling only | polling only | |
| 真空計 D 型連接器的電源電壓 | +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W | +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W | +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W | |
| 為微型連接器上的 DeviceNet 收發(fā)器提供電壓 | 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) | 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) | 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) | |
| DeviceNet™ 連接器 | microstyle, 5 pin, male | microstyle, 5 pin, male | microstyle, 5 pin, male | |
| CDG（模擬輸出、CDG 電源電壓、設(shè)定點）連接器 | D-sub, 15 pin, male | D-sub, 15 pin, male | D-sub, 15 pin, male | |
| Profibus DP | ||||
| 波特率 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
| 地址 | address 00 - 125 by switch or network programmable | address 00 - 125 by switch or network programmable | address 00 - 125 by switch or network programmable | |
| 數(shù)字功能讀取 | pressure, status, ID | pressure, status, ID | pressure, status, ID | |
| 數(shù)字功能設(shè)置 | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | |
| Profibus DP 連接器 | D-sub, 9 pin, female | D-sub, 9 pin, female | D-sub, 9 pin, female | |
| CDG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點）連接器 | D-sub, 15 pin, male | D-sub, 15 pin, male | D-sub, 15 pin, male | |
(1) 非線性，遲滯，在 25 °C 環(huán)境工作溫度中的可重復性，2 小時工作后無溫度影響。
(2) 提高 10 … 90 % FS
(3) 僅適用于壓力控制型
(4) 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe
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