Scanning Electron Microscope(SEM)掃描電子顯微鏡 (SEM)掃描電子顯微鏡

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更新時間：2022-11-11 11:27:10瀏覽次數(shù)：399次

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產品簡介

的背散射電子探測始終可保證良好的材料襯度，即使是以低電壓和小束流并以任何傾斜角度對電子束敏感樣品進行TV速率成像是也不例外

詳細介紹

的背散射電子探測始終可保證良好的材料襯度，即使是以低電壓和小束流并以任何傾斜角度對電子束敏感樣品進行 TV 速率成像是也不例外；

特點:
● 全面實現(xiàn)納米或亞納米分辨性能，從納米顆粒、粉末、催化劑和納米器件到塊狀磁性樣品等材料；
● 的背散射電子探測始終可保證良好的材料襯度，即使是以低電壓和小束流并以任何傾斜角度對電子束敏感樣品進行 TV 速率成像是也不例外；
● 無比靈活的探測器可將各個探測器分割提供的信息相結合，讓用戶能夠獲得至關重要的對比或信號強度；
● 各種各樣的荷電緩解策略，包括樣品倉壓力為 500 Pa 的低真空模式，可實現(xiàn)任何樣品的成像；
● 的分析平臺提供高電子束電流，而且束斑很小。倉室支持三個 EDS 探測器、共面的 EDS和 EBSD 以及針對分析而優(yōu)化的低真空系統(tǒng)；
● 樣品處理和導航極容易，具有多用途樣品支架和 Nav-Cam+

主要技術性能指標：

● 分辨率：高真空：0.7~1.8nm; 低真空: 1.0~1.8nm；
● 加速電壓: 100V, 500V, 1KV, 3KV, 15KV, 20KV；
● 電子束電流: 1pA ~ 400nA，冷場發(fā)射式；
● 著陸能量范圍: 20eV ~ 30KeV；
● 水平視場寬: 10mm工作距離下為3.0mm（對應于最小放大倍率X29）；
● 倉室：內寬340mm，分析工作距離10mm；EDS出射角35°；
● 載物臺X-Y范圍:110mm * 110mm；
● 重復性：< 3.0μm (0°傾斜時)；
● 電動Z軸：65mm；
● 旋轉：n * 360°；
● 樣品高度和重量：距共心點85mm，任意載物臺位置均為500g，當0°傾斜時為2Kg；
● 樣品尺寸：可沿X-Y軸旋轉時直徑為122mm；
● 抽氣時間: ≤ 3.5 分鐘；
● 最多可安裝四個探測器，包含EDS探測器（用于化學元素分析）；
● Windows 7 / Windows 10操作系統(tǒng)；
● 圖像導航和圖像分析軟件。

主要應用：

● 芯片等樣品高分辨率觀測；
● 失效點抓拍記錄；
● 芯片內部電路拍照。

關鍵詞：探測器操作系統(tǒng)

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