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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      上海良允科學(xué)儀器有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
                當(dāng)前位置：上海良允科學(xué)儀器有限公司>>精密光學(xué)平臺(tái)>>主動(dòng)隔振系統(tǒng)>>主動(dòng)隔振系統(tǒng)（電子顯微鏡、半導(dǎo)體設(shè)備專用）
            
      
			
      
				
      
					
      主動(dòng)隔振系統(tǒng)（電子顯微鏡、半導(dǎo)體設(shè)備專用）
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號(hào)αL4X-911R1
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2022-11-06 10:40:49瀏覽次數(shù)：327次
							
      
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                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      日本特許機(jī)器株式會(huì)社（TOKKYOKIKI)成立于1969年，是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商，一臺(tái)主動(dòng)式除振裝置實(shí)用機(jī)由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導(dǎo)體展示會(huì)上推出，TOKKYOKIKI一直致力研究，精密穩(wěn)定，堅(jiān)固耐用的防振產(chǎn)品、振動(dòng)分析儀器和各行業(yè)防振設(shè)備，以滿足各領(lǐng)域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			            
       
      日本特許機(jī)器株式會(huì)社（TOKKYOKIKI)成立于1969年，是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商，一臺(tái)主動(dòng)式除振裝置實(shí)用機(jī)由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導(dǎo)體展示會(huì)上推出，TOKKYOKIKI一直致力研究，精密穩(wěn)定，堅(jiān)固耐用的防振產(chǎn)品、振動(dòng)分析儀器和各行業(yè)防振設(shè)備，以滿足各領(lǐng)域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求。
             
      αL4X-911R1主動(dòng)式隔振平臺(tái)是結(jié)合了空壓（低頻）和線性馬達(dá)（高頻）的兩種優(yōu)點(diǎn)，專為掃描電子顯微鏡而設(shè)計(jì)的高精密隔振平臺(tái)。
      本主動(dòng)隔振系統(tǒng)可將影響儀器設(shè)備正常工作的安裝場(chǎng)地的細(xì)微振動(dòng)，在所有頻率范圍內(nèi)予以全面衰減而不降低儀器設(shè)備本身具有的各項(xiàng)性能。

      αL4X-911R1的基本原理和功能
      利用加速度傳感器檢測(cè)地板的振動(dòng)，通過(guò)6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動(dòng)控制，由氣動(dòng)和線性馬達(dá)執(zhí)行器來(lái)實(shí)現(xiàn)振動(dòng)衰減，消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場(chǎng)地的細(xì)微振動(dòng)，滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動(dòng)值。
      技術(shù)參數(shù)：
      名稱
      技術(shù)參數(shù)和指標(biāo)
      主動(dòng)隔振平臺(tái)
      標(biāo)準(zhǔn)外形尺寸：902×1102×152（浮起時(shí)155）mm
      其他尺寸可定制
      主動(dòng)隔振單元
      內(nèi)含加速度傳感器，位移傳感器及空氣伺服閥。
      隔振范圍
      0.5Hz~100Hz
      隔振效果（值）
      0.5Hz~1Hz：≤-20dB
      1Hz~10Hz：-20dB ≤-40dB
      10Hz以上：≥ -40dB
      加速度傳感器
      頻率范圍：DC-400Hz
      最小分辨率：≤1*10-6m/sec2
      耐沖擊參數(shù)：1000m/sec2
      位移傳感器
      最小分辨率：≤3um
      行程范圍：1-5mm
      控制器
      輸入/輸出控制信號(hào)采樣頻率
      加速度：2000Hz 位移：125Hz
      分辨率 輸入：18bit  輸出：16bit

       
       
       
        
      暫無(wú)評(píng)價(jià)
       
       
       
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
      
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