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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司


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      薄膜應(yīng)力儀,應(yīng)力檢測儀,3DMapping

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      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地上海

      聯(lián)系方式:卜先生查看聯(lián)系方式

      更新時(shí)間:2022-10-23 15:44:54瀏覽次數(shù):567次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:5條

      所在地區(qū):

      聯(lián)系人:卜先生

      產(chǎn)品簡介

      產(chǎn)品簡介:美國FrontierSemiconductor(FSM)成立于1988年

      詳細(xì)介紹

      產(chǎn)品簡介:

      美國Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年,總部位于圣何塞,多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設(shè)備,客戶遍布, 主要產(chǎn)品包括:光學(xué)測量設(shè)備: 三維輪廓儀、拉曼光譜、 薄膜應(yīng)力測量設(shè)備、 紅外干涉厚度測量設(shè)備、電學(xué)測量設(shè)備:高溫四探針測量設(shè)備、非接觸式片電阻及 漏電流測量設(shè)備、金屬污染分析、等效氧化層厚度分析 (EOT)

      FSM128薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備

      image002.png

      在襯底鍍上薄膜后, 因?yàn)閮烧卟馁|(zhì)不一樣, 所以會(huì)引起應(yīng)力. 如應(yīng)力太大會(huì)引起薄膜脫落, 最終引致組件失效或可靠性不佳的問題. 薄膜應(yīng)力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計(jì)算出應(yīng)力, 是品檢及改進(jìn)工藝的有效手段。


      ° 快速、非接觸式測量

      ° 樣品臺可通用于3至8寸晶圓

      128L型號適用于12寸晶圓

      128G 型號適用于470 X 370mm樣品,

      另可按要求訂做

      ° 雙激光自動(dòng)轉(zhuǎn)換技術(shù) 

      如某一波長激光在樣本反射度不足,系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)使用 

      另一波長激光進(jìn)行掃瞄,滿足不同材料的應(yīng)用

      ° 全自動(dòng)平臺,可以進(jìn)行2D及3D掃瞄(可選)

      ° 可加入更多功能滿足研發(fā)的需求

      電介質(zhì)厚度測量

      光致發(fā)光激振光譜分析

      (III-V族的缺陷研究)

      ° 500 及 900°C高溫型號可選

      ° 樣品上有圖案亦適用

      ° 規(guī)格:

      ° 測量方式: 非接觸式(激光掃瞄)

      ° 樣本尺寸:

      ° FSM 128 : 75 mm to 200 mm

      ° FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

      ° FSM 128G: 550×650 mm

      ° 掃瞄方式: 高精度單次掃瞄、2D/ 3D掃瞄(可選)

      ° 激光強(qiáng)度: 根據(jù)樣本反射度自動(dòng)調(diào)節(jié)

      ° 激光波長: 650nm及780nm自動(dòng)切換(其它波長可選)

      ° 薄膜應(yīng)力范圍: 1 MPa — 1.4 GPa

      ° (硅片翹曲或彎曲度變化大于1 micron)

      ° 重復(fù)性: 1% (1 sigma)*

      ° 準(zhǔn)確度: < 2.5%*

      ° *使用20米半徑球面鏡

      ° 設(shè)備尺寸及重量:

      ° FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 270 lbs

      ° FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 280 lbs

      ° FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 400 lbs

      ° 電源 : 110V/220V, 20A

      關(guān)鍵詞:力測量
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