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更新時(shí)間:2023-10-21 07:40:55瀏覽次數(shù):419次
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用途●提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理●清洗各類基板
模式 | RIE(DP模式選購(gòu)) |
高頻輸功率 | 2000W |
反應(yīng)臺(tái)尺寸 | W600×D600mm |
反應(yīng)氣體 | 2進(jìn)氣系統(tǒng)(氧氣、氬氣) |
反應(yīng)氣體流量控制 | 質(zhì)量流量控制器 |
氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè) |
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