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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      上海昊量光電設(shè)備有限公司


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      桌面型/桌子型、主動(dòng)氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)(ME40 series)

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      更新時(shí)間:2022-11-04 13:14:39瀏覽次數(shù):176次

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      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      產(chǎn)品簡(jiǎn)介緊湊的機(jī)身集成了6自由度的主動(dòng)除振機(jī)構(gòu),可提供以往的被動(dòng)型無(wú)法實(shí)現(xiàn)的振動(dòng)環(huán)境

      詳細(xì)介紹

      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      緊湊的機(jī)身集成了6 自由度的主動(dòng)除振機(jī)構(gòu),可提供以往的被動(dòng)型無(wú)法實(shí)現(xiàn)的振動(dòng)環(huán)境。這款機(jī)器可以很大限度的發(fā)揮近年來(lái)發(fā)展神速的納米技術(shù)領(lǐng)域所要求的高精度及高分解能。


      產(chǎn)品特點(diǎn)

      1. 6 自由度主動(dòng)控制

      2. 豐富的尺寸變化

      3. 只需要接通電源即可使用

      4. 自動(dòng)主動(dòng)調(diào)整 & 自動(dòng)水平調(diào)整



      應(yīng)用領(lǐng)域

      描探針顯SPM),共聚焦激光,干涉統(tǒng),三形狀測(cè)量機(jī),激光位移測(cè)量系統(tǒng),其他精密測(cè)量和精密加工機(jī)。


      主要規(guī)格和參數(shù)







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