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科邁斯科技股份有限公司
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號Semilab SE-2000
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
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更新時間:2023-02-28 08:11:20瀏覽次數(shù):423次
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特點規(guī)格量測厚度,反射率,吸收率,表面結(jié)構(gòu)量測波長632
特點 | 規(guī)格 |
---|---|
量測 | 厚度, 反射率, 吸收率, 表面結(jié)構(gòu) |
量測波長 | 632.8 nm(He-Ne 雷射) |
量測時間 | 100 ms~2 s |
量測厚度 | 2 nm~6000 nm |
樣品平臺 | 200 mm (自動 Rho/Theta) |
反射角檢測 | 自動 / 手動 |
角度 | 45° – 90° / 12° – 90° |
變化角度 | 5° / 1° |
重復(fù)性 | 0.01° |
準確度 | Psi:0.002° Delta:0.002° |
厚度精確度 | 0.01nm( 80nm Si3N4 on Si) |
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