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軟X射線探測(cè)器的軟X射線可直接照射探測(cè)器,無(wú)需閃爍晶體做轉(zhuǎn)換,按可檢測(cè)X射線能量范圍不同及應(yīng)用的需要,分為AXUV,UVG和SXUV三大產(chǎn)品系列,Z低可檢測(cè)0.04nm的軟X射線,擁有快速響應(yīng)的探測(cè)器,響應(yīng)速度達(dá)到ps量級(jí),多元陣列,積分放大電路,并可根據(jù)需要集成帶通濾光片,四象限位置傳感器(Quadrant PSD)
美國(guó)IRD公司,成立于1991年,專業(yè)生產(chǎn)用于UV,XUV,EUV和軟X射線檢測(cè)的硅材料探測(cè)器,是的射線探測(cè)器生產(chǎn)廠商。IRD公司為眾多研究機(jī)構(gòu)提供探測(cè)器,其生產(chǎn)的5mm-250mm硅光電管通過了美國(guó)NIST認(rèn)證,被為*合格供應(yīng)商。
軟X射線探測(cè)器
IRD探測(cè)器的特點(diǎn)如下:
AXUV系列
AXUV系列適用于真空紫外、紫外和,由于不同于常見的pn結(jié)二管,這些二管沒有摻雜死區(qū),加之零表面復(fù)合處理,可以在紫外/紫外范圍內(nèi),達(dá)到理想化的99%內(nèi)部量子效率轉(zhuǎn)化。
IRD還提供與Cr,W,Au,Fe,Al等濾光片耦合的探測(cè)器,可以達(dá)到探測(cè)波長(zhǎng)的效果。
SXUV系列
由于在硅PN結(jié)光電二管前耦合鉑硅化物入射窗,使得探測(cè)器可以探測(cè)超紫外光子(能量范圍4ev—12KeV)。這些探測(cè)器是專門為高通量的光子探測(cè)設(shè)計(jì)的,如配合使用在第三和第四代同步加速器和。該系列二管由超大規(guī)模集成電路制造而成。
IRD還提供與Zr,Si3N4,Si,SiC,Mo,Al濾光片耦合的探測(cè)器,可以達(dá)到探測(cè)波長(zhǎng)的效果。
當(dāng)脈沖能量超過20mJ,IRD還開發(fā)了帶衰減器的探測(cè)器,以減少UV/EUV脈沖射線對(duì)探測(cè)器的沖擊。
UVG系列
UVG系列PN結(jié)光電探測(cè)器可以實(shí)現(xiàn)99%的光生載流子收集效率,所以被使用在近紫外和真空紫外(600--160nm)。與傳統(tǒng)的二管不同的是,這些二管沒有摻雜死區(qū),加之零表面復(fù)合處理,可以在紫外/紫外范圍內(nèi),達(dá)到理想化的99%內(nèi)部量子效率轉(zhuǎn)化
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