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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      北京壯仕科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
                當(dāng)前位置：北京壯仕科技有限公司>>合肥科晶加熱及樣品處理設(shè)備>>小型三靶等離子濺射儀VTC--16-3HD
            
      
			
      
				
      
					
      小型三靶等離子濺射儀VTC--16-3HD
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號(hào)
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：經(jīng)理查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2022-10-13 13:01:09瀏覽次數(shù)：251次
							
      
							聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
									
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      小型三靶等離子濺射儀VTC--16-3HD
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			             
       
        
        視頻   
        
        
       wps32.jpg 
             		 
       
        
             操作視頻 
             		 
              
             		 
       
        主要參數(shù)   
       輸入電源：220V 通用  功率：<> 
       
         
       
       工作電流： 濺射電流：0-50 mA可調(diào) 
       
         
       
       單次工作時(shí)間：0-5分鐘可調(diào) 
       
         
       
       靶頭數(shù)目：3個(gè) 
       
         
       
       輸出電壓：1600V DC 
       
         
       
       樣品臺(tái)加熱溫度：500℃（選配，詳細(xì)請(qǐng)聯(lián)系售后） 
             		 
       
        濺射腔體   
       采用石英腔體，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H 
       
         
       
       密封：O形密封圈密封 
             		 
       
        樣品臺(tái)   
       一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái),用于盛放基片，可以電動(dòng)控制移動(dòng)三個(gè)位置 
       
         
       
       濺射距離：濺射距離可調(diào) 
       
       
        
       
       可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái)（溫度可到500℃） 
       
         
       
       PID控制器控溫精度+/- 1℃（已集成到觸摸屏上） 
       
       image.png 
             		 
       
        控制面板   
       控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏 
       
         
       
       一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度 
       
       image.png 
             		 
       
        真空泵（選配）   
       用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊） 
       
         
       
       用分子泵真空度可達(dá) 10-4 torr（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊） 
       
       wps33.png 
             		 
       
        進(jìn)氣口   
       一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 
             		 
       
        靶材   
       要求安裝靶材的尺寸：直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm 
       
         
       
       可在本公司選購(gòu)靶材,具體請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接 
       
        wps34.png 
             		 
       
        外形尺寸   
       460mm×330mm×540mm (L×W×H) 
       
         
       
       凈重:50KG（不包括泵） 
       
       image.png 
             		 
       
        質(zhì)保期   
       一年保修，終身技術(shù)支持。 
       
       
       特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 
       
       2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 
       
       
       點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。 
             		 
       
        質(zhì)量認(rèn)證   
       wps35.png認(rèn)證 
             		 
       
        各種靶材的參數(shù)（僅供參考）   
       對(duì)于濺射各種金屬靶材，需要摸索的濺射參數(shù)，下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù)（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊） 
       
         
       
        
        
       靶材種類(lèi) 
             		  
       真空度（Pa） 
             		  
       濺射電流（mA） 
             		  
       時(shí)間（s） 
             		  
       濺射次數(shù) 
             		 
       
        
       Au 
             		  
       31-33 
             		  
       28-30 
             		  
       100 
             		  
       1 
             		 
       
        
       Ag 
             		  
       31 
             		  
       28 
             		  
       100 
             		  
       1 
             		 
              
             		 
       
        使用注意事項(xiàng)   
       由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請(qǐng)考慮我們的磁控濺射鍍膜機(jī)或熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。點(diǎn)擊下面圖片查看細(xì)節(jié) 
       
         
       
       有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜 
       
         
       
       為了得到較好的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N） 
       
         
       
       在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈 
       
         
       
       要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面 
       
         
       
       超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):(1)丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮?dú)飧稍铮?）真空烘箱除去水分。 
       
         
       
       等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物 
       
         
       
       制造一個(gè)薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力 
       
        
        
       wps36.png  
             		  
          wps37.png 
             		  
          wps38.png 
             		  
          wps39.png 
             		  
          wps40.png 
             		 
       
        
        超聲波清洗機(jī) 
             		  
           等離子清洗機(jī) 
             		  
         大功率磁控濺射儀 
             		  
            蒸鍍儀 
             		  
            手套箱 
             		 
              
             		 
       
        警告   
       注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動(dòng)機(jī)體 
       
         
       
       氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用 
       
         
       
       濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶 
             		 
              
          
			        
      
			    
      
                			    
      關(guān)鍵詞：PID  控制器  觸摸屏  真空烘箱
      
                                                				
      
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