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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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                當(dāng)前位置：日立集團>>電子顯微鏡 (SEM/TEM/STEM)>>球差場發(fā)射透射電子顯微鏡 HF5000
            
      
			
      
				
      
					
      球差場發(fā)射透射電子顯微鏡 HF5000
      
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      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
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								更新時間：2022-10-14 10:36:44瀏覽次數(shù)：241次
							
      
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                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能通過單極片實現(xiàn)0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX。 透射電子顯微鏡除了延續(xù)了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡HD-2700的球面像差校正器的功能、自動校正功能，像差校正后的SEM圖像和對稱Dual SDD技術(shù)等特點。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術(shù)。 對于包括用戶在內(nèi)的廣泛用戶......
      
				
      
				
      
                    詳細介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                          
       
       球差場發(fā)射透射電子顯微鏡 HF5000 
       
          
                
              
       
           
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        球差場發(fā)射透射電子顯微鏡 HF5000  
        
       
      200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能
       
      通過單極片實現(xiàn)0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX。
       透射電子顯微鏡除了延續(xù)了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700”的球面像差校正器的功能、自動校正功能，像差校正后的SEM圖像和對稱Dual SDD技術(shù)等特點。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術(shù)。
       對于包括用戶在內(nèi)的廣泛用戶，我們提供亞Å級空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀察和分析方法。
       
       
      ※
       
      附帶第二顯示器（可選），顯示屏為嵌入式合成界面。
       
       
         
       
        
       
        
        
               
       
       
            
      •     
         特點 
         
        •      
      •    
         規(guī)格 
         
        •   
       
       
          
       
       
       
       特點 
       
         
      1. 標(biāo)配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動校正功能）
        2.  
      2. 搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場FE電子槍
        3.  
      3. 鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機體的性能大幅度提升
        4.  
      4. 觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時觀察原子分辨率SE圖像
        5.  
      5. 采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺結(jié)構(gòu)以及樣品桿
        6.  
      6. 支持高立體角EDX*的對稱配置（對稱Dual SDD*）
        7.  
      7. 采用全新構(gòu)造的機體外殼蓋
        8.  
      8. 配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿*
        9.  
       
       
      *
       
      選項
       
       
      高輝度冷場FE電子槍×高穩(wěn)定性×日立制球面像差校正器
       
      以長年積累起來的高輝度冷場FE電子源技術(shù)為基礎(chǔ)，進行優(yōu)化，進一步實現(xiàn)電子槍的高度穩(wěn)定性。
       此外，還更新了鏡體，電源系統(tǒng)和樣品臺，以支持觀察亞Å圖像，并提升了機械和電氣穩(wěn)定性，然后與日立公司的球差校正器結(jié)合使用。
       不僅可以穩(wěn)定地獲得更高亮度更精密的探頭，而且自動像差校正功能可以實現(xiàn)快速校正，從而易于發(fā)揮設(shè)備的固有性能。使像差校正可以更實用。
       
      Si（211）單晶體HAADF-STEM圖像（左）和圖像強度曲線分布（右下）、FFT功率譜（右上）
       Si（211）單晶體HAADF-STEM圖像（左）和圖像強度曲線分布（右下）、FFT功率譜（右上）
       
      支持高立體角EDX*的對稱Dual SDD*
       
      支持雙重配置100 mm2 SDD檢測器，以實現(xiàn)更高的靈敏度和處理能力進行EDX元素分析。
       由于第二檢測器位于檢測器的對面位置，因此，幾乎不會因為樣品傾斜，導(dǎo)致X射線中的信號檢測量發(fā)生變化。所以，即使是結(jié)晶性樣品，也不用顧忌信號量，可*按照樣品的方向與位置進行元素分析。
       此外，對于電子束敏感樣品、低X光輻射量的樣品，除了原子列映射，在低倍、廣視野的高精細映射等領(lǐng)域也極為有效。
       
      GaAs（110）的原子柱EDX映射
       GaAs（110）的原子柱EDX映射
       
      像差校正SEM圖像/STEM圖像　同時觀察
       
      配有標(biāo)配二次電子檢測器，可同時觀察像差校正SEM/STEM圖像。通過同時觀察樣品的表面和內(nèi)部結(jié)構(gòu)，可以掌握樣品的三維構(gòu)造。
       在像差校正SEM圖像中，除了可以通過校正球差來提高分辨率之外，還可以獲取更真實地樣品表面圖像。
       
      Au/CeO2催化劑的SEM/ADF-/BF-STEM圖像（上段）和Au粒子的高分辨率圖像（下段）
       Au/CeO2催化劑的SEM/ADF-/BF-STEM圖像（上段）和Au粒子的高分辨率圖像（下段）
       
        
        
         
       
       
       
       規(guī)格 
       
      主要規(guī)格
       
        
      項目內(nèi)容
       
      電子源 W（310）冷陰極場發(fā)射型 
       
      加速電壓 200 kV、60 kV*1 
       
      圖像分辨率STEM 0.078 nm（ADF-STEM圖像） 
       
      TEM 0.102 nm（晶格像） 
       
      倍率STEM ×20～×8,000,000 
       
      TEM ×100～×1,500,000 
       
      樣品微動樣品臺 偏心測角儀（Eucentric Goniometer）5軸樣品臺 
       
      樣品尺寸 3 mm Φ 
       
      移動范圍 X, Y＝±1.0 mm，Z=±0.4 mm 
       
      樣品傾斜 α＝±25°、β＝±35°（日立2軸傾斜樣品桿*1） 
       
      像差校正器 配有日立照射系統(tǒng)球面像差校正器（標(biāo)配） 
       
      圖像顯示PC Windows® 7 *2 
       
      顯示器 27英寸寬屏液晶顯示器（機體控制顯示器、第二顯示器*1） 
       
      攝像頭 標(biāo)配伸縮式攝像頭
      屏幕攝像頭*1（用于熒光板觀察）      		 
              
       
      機體尺寸/重量
       
        
      項目寬度×進深×高度（mm）重量（kg）
       
      鏡體（含電子槍） 1,060×1,742×2,970 1,940 
       
      機體外殼蓋 1,678×1,970×3,157 429 
       
      操作臺 1,400×819×740 132 
       
      擴展操作臺*1 580×819×740 53 
       
      FE槽 1,041×840×1,317 482 
       
      V0槽 398×630×1,046 164 
       
      控制電源 1,400×693×816 173 
       
      像差校正器電源 606×529×1,096 81 
       
      排氣系統(tǒng)電源 913×663×1,790 378 
       
      轉(zhuǎn)向系統(tǒng)電源 913×663×1,790 394 
       
      配重塊 280×130×130 23 
       
      Gatan控制器*1*3 576×648×1,173 150 
       
      冷卻水控制裝置 470×540×350 25 
       
      冷卻水循環(huán)裝置*1*3 970×970×1,064 95 
       
      干式泵*1 252×400×336 23 
       
      空壓機*1 275×560×576 25 
              
       
      安裝條件
       
        
      項目內(nèi)容
       
      室溫 15～23℃（溫度變化：0.2℃/h以內(nèi)） 
       
      濕度 40～60% RH 
       
      電源機體 單相AC200～240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA
      斷路器容量 50 A      		 
       
      冷卻水循環(huán)裝置*1*3 三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A 
       
      接地 D種接地（100 Ω以下） 
       
      冷卻水水量 5.1～5.3 L/min 1系統(tǒng)、2.0～2.2 L/min 1系統(tǒng)
      （水壓0.25 MPa）      		 
       
      水溫 16～18℃（變動：±0.1℃以內(nèi)） 
       
      氣體SF6 99.9%以上、180 k～200 kPa 
       
      干氮 99.9%以上、0～100 kPa 
       
      壓縮空氣 600 k～800 kPa 
              
       
      購買之前，請設(shè)置預(yù)定安裝處測量振動、磁場和噪聲，如果超過容許值，請務(wù)必另行咨詢。
       關(guān)于容許值，請另行咨詢。
       
       
      備注
       
      *1：選項。*2：Windows是在美國以及其他國家的注冊的美國Microsoft Corp.商標(biāo)。*3：規(guī)格、尺寸均根據(jù)廠家、型號和配置的不同而會有所不同。
       
       
      布局示例
       
      布局示例
       ※使用上述配置(包含維護工具），整體設(shè)備總重量約為5,000kg。
       ※請檢查地面強度（kg/m2）＞3×設(shè)備總重量（kg）/占地面積（m2）。
       
        
        
                 
        
           
        
       
        
       
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