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iMicro納米壓痕儀

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更新時間：2022-10-12 15:50:42瀏覽次數(shù)：184次

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產(chǎn)品簡介

iMicro納米壓痕儀

詳細介紹

產(chǎn)品描述

iMicro采用InForce 1000驅(qū)動器進行納米壓痕和通用納米機械測試，并可選擇添加InForce 50驅(qū)動器來測試較軟的材料。InView軟件是一個靈活的現(xiàn)代軟件包，可以輕松進行納米級測試。iMicro是內(nèi)置高速InQuest控制器和隔振門架的緊湊平臺。可以測試金屬、陶瓷、復合材料、薄膜、涂層、聚合物、生物材料和凝膠等各種不同的材料和器件。

主要功能

1.InForce 1000驅(qū)動器，用于電容位移測量，并配有電磁啟動的可互換探頭
2.可選的InForce 50驅(qū)動器提供50mN的法向力來測量軟性材料，并提供可選的Gemini 2D力荷載傳感器用于雙軸動態(tài)測量。的軟件集成探頭校準系統(tǒng)，可實現(xiàn)快速準確的探頭校準
3.InQuest高速控制器電子設備，具有100kHz數(shù)據(jù)采集速率和20μs時間常數(shù)
4.XY移動系統(tǒng)以及易于安裝的磁性樣品架
5.高剛度龍門架，集成隔振功能
6.帶數(shù)字變焦的集成顯微鏡，可實現(xiàn)精確的壓痕定位
7.ISO 14577和標準化測試方法
8.InView軟件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus報告、InView大學在線培訓和InView移動應用程序

主要應用

1.硬度和模量測量(Oliver Pharr)
2.高速材料性質(zhì)分布
3.ISO 14577硬度測試
4.聚合物tan delta，儲存和損耗模量
5.定量刮擦和磨損測試
6.樣品加熱

工業(yè)應用

1.大學、研究實驗室和研究所
2.半導體行業(yè)
3.PVD / CVD硬涂層（DLC，TiN）
4.MEMS（微機電系統(tǒng)）/納米級通用測試
5.陶瓷和玻璃
6.金屬和合金
7.制藥
8.涂料和油漆
9.復合材料
10.電池和儲能
11.汽車和航空航天

連續(xù)剛度測量 (CSM)

連續(xù)剛度測量用于量化動態(tài)材料特性，例如應變率和頻率引起的影響。CSM技術(shù)采用在壓痕期間振蕩壓頭以測量隨深度、力荷載、時間或頻率而變化的特性。該選項包括恒定應變率實驗，該實驗測量硬度和模量與深度或載荷的函數(shù)關系，這是學術(shù)界和工業(yè)界的測試方法。 CSM還可用于其他高級測量選項，包括用于存儲和損耗模量測量的ProbeDMA™方法和與基板無關的測量方法AccuFilm™。CSM功能集成在InQuest控制器和InView軟件中，易于使用并且保證數(shù)據(jù)質(zhì)量。

InForce 50 驅(qū)動器

InForce 50驅(qū)動器采用高達50mN的力度進行納米力學測試。電磁力技術(shù)應用可確保穩(wěn)定的測量和力荷載與位移的長期穩(wěn)定性。行業(yè)的機械設計確保諧波運動受限于一個自由度，從而力荷載和位移可控制在一個軸向。InForce 50驅(qū)動器與CSM、NanoBlitz、ProbeDMA、生物材料、樣品加熱、劃痕、磨損和ISO 14577等測試選項兼容。整個系列的InForce和Gemini驅(qū)動器的壓頭都可以互換。

Gemini 雙軸驅(qū)動器

Gemini雙軸技術(shù)為第二個橫軸提供了標準壓痕性能，并且采用CSM同時沿兩個軸運行。該技術(shù)所增加的信息有助于深入了解材料特性和失效機理。二維傳感器是測量橫向力和摩擦測量所必須的，并能夠用于測量泊松比、摩擦系數(shù)、劃痕、磨損、剪切和拓撲。

300°C樣品加熱

300°C樣品加熱選項允許將樣品放入工作室中進行均勻加熱的同時使用InForce 50驅(qū)動器進行測試。該選項包括高精度溫度控制、惰性氣體回填以減少氧化，以及冷卻以去除廢熱。 ProbeDMA，AccuFilm，NanoBlitz和CSM均與樣品加熱選項兼容。

NanoBlitz 3D

NanoBlitz 3D利用InForce 50驅(qū)動器和Berkovich壓頭繪制高E（> 3GPa）材料的納米力學性質(zhì)的3D分布。NanoBlitz以每個壓痕<1s實現(xiàn)多達100,000個壓痕（300x300陣列），并對陣列中的每個壓痕在負載下測量楊氏模量（E）、硬度（H）和剛度（S）值。大量的測試數(shù)據(jù)能夠提高統(tǒng)計的準確性。直方圖顯示多個階段或材料。NanoBlitz 3D方法包具有可視化和數(shù)據(jù)處理功能。

NanoBlitz 4D

NanoBlitz 4D利用InForce 50驅(qū)動器和Berkovich壓頭為低E/H和高E（> 3GPa）材料繪制4D納米機械特性的分布。NanoBlitz以每次壓縮5-10s進行多達10,000個壓痕（30x30陣列）測試，并以每個壓痕的深度為函數(shù)對楊氏模量（E）、硬度（H）和剛度（S）進行測量。 NanoBlitz 4D采用恒定應變率方法。該功能包具備可視化和數(shù)據(jù)處理功能。