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更新時(shí)間:2022-10-12 15:28:55瀏覽次數(shù):255次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 智能制造網(wǎng)--30nm光學(xué)信號空間分辨率太赫茲(THz)光源波長較大,一般在300微米左右。由于衍射極限的存在,THz遠(yuǎn)場測量系統(tǒng)的光學(xué)空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠(yuǎn)場測量結(jié)果的準(zhǔn)確度經(jīng)常無法滿足對材料科學(xué)研究,尤其是需要納米分辨率的微細(xì)尺度材料分布研究(例如半導(dǎo)體芯片中各個(gè)組成:源極,漏極,柵極)的實(shí)驗(yàn)。THz-NeaSNOM近場光學(xué)顯微鏡的出現(xiàn)為此難題提供了一個(gè)很好的解決方案。德國n......
--30nm光學(xué)信號空間分辨率太赫茲(THz)光源波長較大,一般在300微米左右。由于衍射極限的存在,THz遠(yuǎn)場測量系統(tǒng)的光學(xué)空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠(yuǎn)場測量結(jié)果的準(zhǔn)確度經(jīng)常無法滿足對材料科學(xué)研究,尤其是需要納米分辨率的微細(xì)尺度材料分布研究(例如半導(dǎo)體芯片中各個(gè)組成:源極,漏極,柵極)的實(shí)驗(yàn)。THz-NeaSNOM近場光學(xué)顯微鏡的出現(xiàn)為此難題提供了一個(gè)很好的解決方案。德國neaspec公司與Fraunhofer IPM在neaspec公司neaSNOM近場光學(xué)顯微鏡的基礎(chǔ)上,已經(jīng)成功研發(fā)了一套易用使用且THz系統(tǒng)的空間分辨率達(dá)到30nm的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
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